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[期刊论文] 作者：汪扬,宋志棠,章宁琳,林成鲁,
来源：功能材料 年份：2003
光子晶体及其在光电子领域的应用是目前国际上的研究热点之一,是一种新型的光电子功能材料.在近红外光通讯领域中,光子晶体(对应光子晶体晶格常数为亚微米)有非常重要的应用,...
[期刊论文] 作者：章宁琳,宋志棠,沈勤我,林成鲁,
来源：半导体学报 年份：2003
采用超高真空电子束蒸发法制备了用于全耗尽SOI场效应晶体管(MOSFET)中作为高k栅介质的ZrO2薄膜．X射线光电子能谱(XPS)分析结果显示：ZrO2薄膜成分均一，为完全氧化的ZrO2，其中Zr：O=...
[期刊论文] 作者：章宁琳,宋志棠,沈勤我,林成鲁,
来源：功能材料与器件学报 年份：2003
采用超高真空电子束蒸发法制备了新型高 K栅介质-非晶 ZrO2薄膜. X射线光电子能谱 (XPS) 中 Zr3d5/2 和 Zr3d3/2 对应的结合能分别为 182.1eV和 184.3eV, Zr元素的主要存在形...
[期刊论文] 作者：章宁琳,宋志棠,邢溯,万青,林成鲁,
来源：中国激光 年份：2003
采用准分子脉冲激光沉积法 (PLD)分别在Pt/Ti/SiO2 /Si和SiO2 /Si衬底上制备了ZrO2 薄膜 ,采用扩展电阻法 (SRP)研究了薄膜纵向电阻分布 ;采用X射线衍射法 (XRD)研究了衬底温...
[期刊论文] 作者：ZHANG Ning-Lin(章宁琳),SONG Zhi-Tang(宋志棠),SHEN Qin-Wo(沈勤我),LIN Cheng-Lu(林成鲁),
来源：中国物理快报（英文版） 年份：2003
Amorphous zirconia thin films were deposited directly on silicon-on-insulator (SOI) substrates with thin top silicon by ultra-high vacuum electron beam evaporat...
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