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[期刊论文] 作者：张百强,郑中山,于芳,宁瑾,唐海马,杨志安,,
来源：物理学报 年份：2013
为了抑制埋层注氮导致的埋层内正电荷密度的上升,本文采用氮氟复合注入方式,向先行注氮的埋层进行了注氮之后的氟离子注入,并经适当的退火,对埋层进行改性.利用高频电容-电压...
Feed-through cancellation of a MEMS filter using the difference method and analysis of the induced n
[期刊论文] 作者：韩国威,司朝伟,宁瑾,钟卫威,孙国胜,赵永梅,杨富华,,
来源：Journal of Semiconductors 年份：2013
This paper presents and analyzes a notch observed in MEMS(micro electric mechanical system) filter characterization using the difference method.The difference m...
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