搜索筛选:
搜索耗时0.6759秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 2 篇相符的论文内容
发布年度:
[期刊论文] 作者：司朝伟,韩国威,宁瑾,赵永梅,杨富华,,
来源：微纳电子技术 年份：2014
MEMS音叉陀螺存在很多振动模态,分析发现,其在驱动方向上受到冲击时的振动形式与工作在驱动模态的振动形式是不同的。通过改进悬挂梁的尺寸结构,提高了冲击振动模态谐振频率...
[期刊论文] 作者：杨健,韩国威,司朝伟,赵永梅,宁瑾,,
来源：微纳电子技术 年份：2014
综述了氮化铝面内伸缩模态的射频MEMS谐振器。氮化铝面内伸缩模态谐振器(contour-mode resonator,CMR)利用了氮化铝薄膜的压电效应,由器件的机械谐振再通过机电转化实现谐振...
相关搜索：
