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[期刊论文] 作者：康中波,韩国威,司朝伟,钟卫威,赵永梅,宁瑾,,
来源：微纳电子技术 年份：2012
采用与IC工艺兼容的硅表面MEMS加工技术,以碳化硅材料作为结构材料,研制出一种新型的基于谐振原理工作的RF MEMS滤波器。详细介绍了器件的工作原理、制备方法、测试技术和结...
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