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[学位论文] 作者：司朝伟,
来源： 年份：2009
电容式微机械加速度计是近年来在市场上取得巨大成功的加速度计,在消费市场和军工国防领域都有着广泛的应用。许多公司和研究机构都在致力于高精度或大量程的加速度计的研制,这其中低功耗和数字化是加速度计研究的两个重要方向。本文就是在分析了闭环加速度计检......
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