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[期刊论文] 作者:朱晓磊,郭述文,徐大诚,樊波,卜峰, 来源:传感器与微系统 年份:2021
针对微机电系统(MEMS)陀螺受加工误差影响,驱动与检测模态之间存在与科氏力相位差为90°的正交耦合力,限制了陀螺零偏的稳定性的问题,设计了力平衡模式下的正交误差实时校正系统。系统科氏环路采用力平衡法实现闭环检测;正交环路通过调整校正电压,消除结构刚度......
[期刊论文] 作者:杨颖慧,刘靖,卜峰,樊波,徐大诚,郭述文, 来源:仪表技术与传感器 年份:2021
调频全角是轴对称MEMS陀螺上检测角度的控制方法,主要是在一个谐振子上叠加陀螺质量块的顺时针(CW)振动模式和逆时针(CCW)振动模式,进而得到这2种模式的频率信息来实现角度检测。在高Q值陀螺中存在系统稳定较慢和顺逆时针模式相互耦合问题,为此文中提出一种全角......
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