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[期刊论文] 作者:蒋卫刚,刘利,叶张荣, 来源:上海环境科学 年份:2006
随着国内芯片制造业的飞速发展,芯片生产过程中产生的废水也是各企业所必须面临的一个问题。文章结合工程实例,简要介绍了芯片废水中污染物分类及来源,着重探讨了含氨废水、含氟......
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