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[期刊论文] 作者：于海龙,高汉超,王伟,马奔,尹志军,李忠辉,
来源：固体电子学研究与进展 年份：2022
采用固态源分子束外延系统(SSMBE),以四溴化碳(CBr4)作为碳掺杂源,系统研究了半绝缘InP衬底上碳掺杂InGaAs材料的外延工艺.为得到高质量高浓度P型掺杂InGaAs材料,分别对外延过程中的脱膜工艺...、P/As切换工艺以及生长温度等关键参数进行研究.通过扫描透射电子显微镜(STEM)测量衬底表面氧化膜厚度,量化氧化膜厚度与脱膜时间的关系.通过P/As束流切换工艺,得到无P/As互混的InP/InGaAs...界面.研究CBr4束流对InGaAs外延层中In组分的影响,以及不同CBr4束流对应的P型掺杂I...
[期刊论文] 作者：于海龙,高汉超,王伟,马奔,尹志军,李忠辉,
来源：固体电子学研究与进展 年份：2022
采用固态源分子束外延系统（SSMBE），以四溴化碳（CBr4）作为碳掺杂源，研究基于碳掺杂InGaAs材料的InP双异质结双极晶体管（DHBT）分子束外延生长工艺。...通过In原子补偿工艺，补偿基区InGaAs材料中被CBr4刻蚀的In原子，调整In组分使InGaAs-C外延层与InP衬底晶格匹配。...
[期刊论文] 作者：梁晓芬,陈林,章宁,王纬国,
来源：中国设备工程 年份：2022
针对手动测试设备耗时费力、易出错的缺点,本文提出了一种自动检测设备研制方案,基于ATE通用测试平台,选用合适的硬件板卡,编写测试软件,完成自动检测设备的研制.本文从研制背景、设计思路、设计方案、测试原理...、硬件组成、软件架构方面分别对某型灯光告警计算机检测设备的研制实现过程进行了阐述.实验结果表明,该检测设备可满足产品测试技术要求,测试过程快速、准确、可靠....
[期刊论文] 作者：汪柏帆,袁辰彰,蔡汉杰,贾欢,秦元帅,谢宏明,张雍,牛海华,张勋超,陈伟龙,何源,邵志刚,
来源：原子核物理评论 年份：2022
位于中国科学院近代物理研究所的超导直线加速器样机CAFe是一台质子超导直线加速器实验样机，围绕该装置的束流实验研究将为下一步设计研究加速器驱动次临界洁净核能系统（ADS）专用的超导直线加速器打下基础并提供经验...为了实现CAFe的10 mA束流指标，需要设计研制专门的束流收集器（DUMP）和对应的刮束器。本工作就CAFe DUMP前刮束器的研制进行了系统的设计和计算工作。刮束器面向束流侧的材料采用A...
[期刊论文] 作者：梁惠康, 段辉高,
来源：科技导报 年份：2022
电子束光刻设备在高精度掩模制备、原型器件开发、小批量生产以及基础研究中有着不可替代的作用。在国外高端电子束光刻设备禁运的条件下，中国迫切需要实现高端国产化设备的突破。...介绍了电子束光刻设备发展历程，列举了当前活跃在科研和产业界的3种设备（高斯束、变形束、多束）的主要厂商及其最新设备性能，并概括了国产化电子束光刻设备发展现状。...通过国内外电子束光刻设备性能的对比，总结了国产化研发需要解决的关键性难题。其...
[期刊论文] 作者：韩跃斌, 蒲勇, 施建新,
来源：人工晶体学报 年份：2022
碳化硅（SiC）是制作高温、高频、大功率电子器件的理想电子材料，近20年来随着外延设备和工艺技术水平不断提升，外延膜生长速率和品质逐步提高，碳化硅在新能源汽车、光伏产业、高压输配线和智能电站等领域的应用需求越来越大...与硅半导体产业不同，碳化硅器件必须在外延膜上进行加工，因此碳化硅外延设备在整个产业链中占据承上启下的重要位置，而且也是整个产业链中最复杂、最难开发的设备。本文从碳化硅外延生长机理出发，...
[期刊论文] 作者：戴科峰, 仇礼钦, 盛飞龙, 高桑田, 王鑫,
来源：机电工程技术 年份：2022
外延设备是碳化硅产业链的重要设备之一，设备的控制系统直接决定了设备的优劣。设计与实现了一套碳化硅外延设备控制系统，详细介绍了外延设备控制系统总体设计、软硬件架构和各分系统关键技术。...
[期刊论文] 作者：周书星,方仁凤,魏彦锋,陈传亮,曹文彧,张欣,艾立鹍,李豫东,郭旗,
来源：物理学报 年份：2022
为研究磷化铟高电子迁移率晶体管(InP HEMT)外延结构材料的抗电子辐照加固设计的效果,本文采用气态源分子束外延法制备了系列InP HEMT外延结构材料.针对不同外延结构材料开展了1.5 MeV电子束辐照试验...,在辐照注量为2×1015 cm–2条件下,并测试了InP HEMT外延结构材料二维电子气辐照前后的电学特性,获得了辐照前后不同外延结构InP HEMT材料二维电子气归一化浓度和电子迁移率随外延参数的变化规律...
[期刊论文] 作者：王晓宁,高杰,安维明,王佳,李大章,曾明,鲁巍,
来源：强激光与粒子束 年份：2022
针对空泡机制中的双束等离子体尾波电子加速设计,给出了能够快速得到被加速束流在最大加速距离下的相对能散的预测公式.通过加速初始时刻束流纵向分布以及束流所处位置的纵向尾波场可得到束流最终相对能散.该预测公式不仅可应用于驱动束流与被加速束流初始能量相同的情况...,还可应用于两个束流初始能量不相同的情况.由该预测公式得到的束流相对能散与被加速束流和驱动束流的初始能量的比值有关,而与两个束流初始能量的数值无关.利用准静态近似的粒子网格模拟程序QuickPIC对理论进行了模拟验证...
[期刊论文] 作者：吴凡,林博超,权银洙,陈玮,杨洋,
来源：真空 年份：2022
电子束增材制造是增材制造技术的主要方向之一,它在真空中进行,具有能量利用率高、零件残余应力低等优势,在航空航天、医疗领域获得较为广泛的应用.介绍了两种电子束增材制造方法——电子束选区熔化和电子束熔丝沉积...,总结了设备、电子枪、工艺、材料组织调控等方面的研究与应用进展,并对电子束增材制造技术的发展进行了展望....
[期刊论文] 作者：《中国设备工程》杂志编委会,
来源：中国设备工程 年份：2022
凯歌高奏辞旧岁,豪情满怀迎新年.踏着2021年坚实的脚步,我们迎来了万象更新的2022年.值此辞旧迎新、继往开来的特殊时刻,《中国设备工程》杂志编委会全体成员向一直以来关心和爱护我们的广大读者朋友们,向奋战在各条战线上的设备管理工作者...、企业家、专家,向坚守在设备管理第一线的生产部门负责人、广大工程技术人员以及你们的家人,致以最亲切的问候和最诚挚的祝福!...
[期刊论文] 作者：仲秋阳,张楠楠,孔凡晟,李文慧,林靖,李胜强,
来源：计算物理 年份：2022
提出一个基于分子芯片,由六个黄金电极构成的静电分束器.分束器的总长度大约10 mm.用经典的蒙特卡罗方法模拟极性分子被装载和分束的动力学过程.用此分束器,可以得到固定的分束比为0.5:0.5.如果将两个电极杆切断...,通过改变电极电压就可以很容易地操控分束比....
[期刊论文] 作者：许海鹰,桑兴华,杨波,彭勇,
来源：航空制造技术 年份：2022
设计制造了冷阴极气体放电电子枪及其电子光学系统;为了使其能够长期稳定工作,采用三级AC–DC拓扑电路、功率变压器原边并联与输出端整流电路串联获取高压的电路、双闭环控制及放电保护技术等,设计制造了冷阴极气体放电电子枪逆变电源;基于上述技术研制的冷阴极气体放电电子束源实现了...–20kV/1500mA束流输出.试验结果表明,惰性气体作为放电气体,长时间工作易出现束流减小现象;以空气作为放电气体,输出表现为低压大电流特性;给定的He、Ar、空气的气流量小于0.03L/min,输出束流随着加速...
[期刊论文] 作者：唐旭辉,何俊,岳军会,魏书军,杜垚垚,麻惠洲,刘智,杨静,高国栋,曹建社,王安鑫,随艳峰,叶强,
来源：核技术 年份：2022
Energy Photon Source,HEPS)和北京正负电子对撞机重大改造工程(Upgrade of Beijing Electron Positron Collider,BEPCII)等工程需求,研制了一套束流位置探测器...(Beam Position Monitor,BPM)自动标定系统.标定系统主要包括模拟束流发生装置、精密运动机构、信号处理电子学以及系统软件等部分.利用标定系统,开展了BPM标定试验,采集了足量的原始数据...
[期刊论文] 作者：赵金琦,许哲,边宇枢,
来源：机械设计与制造 年份：2022
空间大型机械臂的关节刚度是关节测试的重要指标,直接影响机械臂的使用性能.对于体积、重量大的关节,希望在不同测试工况中减少关节的拆卸和搬运.研制了 一套可以快速切换测试工况的关节刚度测试设备,用于测定机械臂关节的弯曲刚度....通过滑轮组的设计,可以把不同测试工况下的加载力固定在一个位置,仅需改变钢丝绳路径即可更换测试方向.设备结构紧凑、操作简便、安全性高.对影响设备测试精度的参数进行了误差分析并给出了用以指导加工及装配的误差范围...
[期刊论文] 作者：,
来源：固体电子学研究与进展 年份：2022
为了后续将Si CMOS技术与HEMT材料结合实现高集成度应用，将M-HEMT结构外延在硅衬底上并得到了...
[期刊论文] 作者：魏雪松, 常勇,
来源：冶金设备 年份：2022
随着时间的推移，工业基地周围的污染会加剧，空分设备周围大气中的杂质含量会升高；因此分子筛的性能与大气中杂质含量的关系研究，对空分设备的设计使用和对空分设备的运行管理有着重要的意义。...该文介绍了酒钢制氧21000m~3/h空分分子筛吸附器分子筛优化后效果。...
[期刊论文] 作者：贾兢,
来源：装备维修技术 年份：2022
摘 要：在我国不断发展与建设的背景下，设备作为制造行业中的核心生产资料组成部分，科技的进一步更新也对一些大型非标设备提高了需求，有必要加以创新和深入研究，改变之前生产模式，提升设备适应力和生产效应，以此来满足人们的需求与社会发展...本文先阐述了研制设备的现状还有管理风险，然后又对大型非标设备研制建设 方案咨询优化措施展开讨论，并提出了个人的意见。 关键词：大型非标设备：研制建设：方案征询：优化 ...
[期刊论文] 作者：黄鹏,李鹏展,安世忠,宋国芳,郑侠,葛涛,纪彬,张天爵,
来源：原子能科学技术 年份：2022
通过理论分析和仿真模拟对中国原子能科学研究院一台100 M eV强流质子回旋加速器的束流切割器进行了优化设计,并同时研制出两套束流切割器进行实测对比,选定最佳方案.该切割器波形选择为回旋加速器高频频率的...16分频2.8 M Hz正弦波,具有结构紧凑体积小、螺旋谐振器Q相对较高、加载切割电压较高且功率损耗低、无需水冷等特点,同时配套研制了一套开口形状为正方形的选束狭缝装置.最后在实验终端成功获得了能量为100...M eV、重复频率为5.6 M Hz的脉冲质子束.该切束器的成功研制不仅满足了核数据测量的应用需求,...
[期刊论文] 作者：李乾,黄婷,折伟林,王丹,邢伟荣,
来源：红外 年份：2022
聚焦离子束扫描电子显微镜(Focused Ion Beam Scanning Electron Micro-scope,FIB-SEM)双束系统结合了扫描电子显微镜与聚焦离子束系统的优势.基于该系统的高分辨率...、原位加工及观测的特点,研究了它在缺陷与像元解剖分析、透射电镜样品制备以及电路修复等方面的应用.详细介绍了用FIB-SEM系统定位问题像元的方法和修复电路的具体过程,并阐明了它对红外焦平面探测器研制的重要作用....该系统是高性能红外探测器研制过程中不可或缺的重要表征手段....
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