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[期刊论文] 作者:汪光武,侯荣华,陆阳,, 来源:真空 年份:2013
本文对XJPD-900磁控溅射生产线的控制系统进行了设计,重点对应用PLC和iFix组态软件实现工艺过程自动控制以及EXCEL表格数据存储等的程序做了设计分析,完成了整机的工艺试验。...
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