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[期刊论文] 作者:王效顺,余吟山,王庆胜,梁勖,游利兵,方晓东,, 来源:中国激光 年份:2011
248 nm放电抽运KrF准分子激光器在微电子学和医学等领域有重要的应用价值。在大多数应用中,激光器的最大输出效率和能量都是十分重要的参数。为了提高激光器输出效率和能量,...
[期刊论文] 作者:王庆胜,余吟山,王效顺,游利兵,梁勖,李会,方晓东,, 来源:强激光与粒子束 年份:2011
研制了一台实用型放电泵浦的351 nm XeF(B-X)准分子激光器,激光器采用新型开关电源、结构紧凑型张氏电极及放电火花预电离的激光腔结构,通过优化储能电容和放电电容量及比值,选...
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