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[期刊论文] 作者：盛斌,徐向东,刘颖,洪义麟,付绍军,
来源：光学精密工程 年份：2010
利用单晶硅在KOH溶液中的各向异性刻蚀特性,在相对Si（111）面切偏角为5°的单晶片上制作了1200gr/mm的真空紫外闪耀光栅。结合全息干涉曝光以及光刻胶灰化技术,在单晶硅表面...
[期刊论文] 作者：干蜀毅,周卿,徐向东,洪义麟,刘颍,付绍军,
来源：计量学报 年份：2010
将分形法引入光学表面粗糙度评价体系中，以克服常用表面粗糙度评价参数（如Rn、Rq、PSD）随取样点位置、取样长度而变化的弊端。用原子力显微镜（AFM）对样片表面进行测量，计算测量值的......
[期刊论文] 作者：贺胜男,刘颖,邱克强,周洪军,霍同林,付绍军,
来源：ChineseOpticsLetters 年份：2010
We propose a general correction method for the efficiency measurement of optical components in the 45–110 nm range to eliminate the contamination of higher-order harmonics at beamline U27 of the Hefei Light Source (HLS). The influence of h......
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