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[期刊论文] 作者：梁华卓,付有志,何俊峰,徐兰英,阎秋生,
来源：金刚石与磨料磨具工程 年份：2022
基于芬顿反应的磁流变化学复合抛光加工原理,对单晶SiC基片进行磁流变化学复合抛光试验,研究工艺参数对其抛光效果的影响.结果表明:随着金刚石磨粒粒径的增大,材料去除率先增大后减小,而表面粗糙度先减小后增大;随着磨粒质量分数的增大,材料去除率增大,而表面粗......
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