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[期刊论文] 作者：陈亮,亢勇,赵德刚,李向阳,龚海梅,,
来源：固体电子学研究与进展 年份：2008
感应耦合等离子体（ICP）刻蚀在AlGaN基紫外探测器台面制作中起着重要作用，初步研究了Cl2／Ar／BCl3ICP刻蚀对A1GaN材料的损伤。运用X射线光电子能谱（XPS）对ICP刻蚀前后的n型Al0.45Ga0．55......
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