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[学位论文] 作者:严垒,, 来源: 年份:2014
本文采用自主研发的压缩波导式谐振腔结构的MPCVD装置,以HPHT单晶金刚石颗粒、HPHT金刚石单晶片和CVD金刚石单晶片为衬底,进行了金刚石同质外延的研究。研究内容包括以下几个方...
[期刊论文] 作者:高攀,吴超,严垒,马志斌, 来源:金刚石与磨料磨具工程 年份:2014
提出了一种直接评价CVD金刚石磨损性能的实验方法,比较研究了热丝CVD法、微波等离子体CVD法和直流电弧等离子体CVD法制备的金刚石的磨损性能。研究结果表明:影响CVD金刚石磨损...
[期刊论文] 作者:吴超,马志斌,严垒,高攀, 来源:金刚石与磨料磨具工程 年份:2014
化学气相沉积(CVD)单晶金刚石是近年来金刚石领域研究焦点之一,在众多合成方法中,微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)是诸多学者公认的稳定生长均匀高质量单晶金刚石最有前途的技术。......
[期刊论文] 作者:严垒,马志斌,曹为,吴超,高攀,张田田,, 来源:人工晶体学报 年份:2014
在自主研发的小功率微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置上利用高温高压(HPHT)单晶金刚石片为衬底进行了金刚石同质外延生长的研究。研究了甲烷浓度、工作气压对金刚石生长...
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