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[会议论文] 作者：孙海锋;刘新宇;和致经;刘训春;郑丽萍;袁志鹏;刘洪刚;石瑞英;,
来源：第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会 年份：2003
本文简要介绍了中国科学院微电子所在异质结双极晶体管(HBT)研究方面取得的一些成果.异质结双极晶体管(HBT)是国防、通信等高技术领域所需的关键器件之一.由于社会的信息化、...
[会议论文] 作者：刘运龙,中国科学院半导体研究所(北京),刘新宇,中国科学院半导体研究所(北京),孙海锋,中国科学院半导体研究所(北京),海潮和,中国科学院半导体研究所(北京),吴德馨,中国科学院半导体研究所(北京),和致经,
来源：第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议 年份：2001
本文对氮化H-O合成薄栅氧抗辐照性能进行了研究,将H-O合成和氮氧化栅两种技术结合起来,充分利用两者的优点制成三层结构的Sandwich栅,对比了常规氧化、H-O合成氧化和氮化H-O合成氧化三种方式及不同退火条件得出:氮化H-O合成氧化方法抗辐照性能最佳、采用硅化物......
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