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[会议论文] 作者:干蜀毅, 徐向东, 洪义麟, 刘颍, 谢永军, 付绍军,, 来源: 年份:2004
现代科技的发展对增反膜提出的要求越来越高,具体表现在两个方面:一是要求在现有基础上进一步提高反射率,拓宽高反膜带宽,二是将获得高反膜的波长向短波方向延伸至真空紫外-x...
[期刊论文] 作者:付绍军,洪义麟,陶晓明,苏永刚,明海,谢建平, 来源:量子电子学 年份:1992
本文利用离子束在玻璃上刻蚀出双频光栅,研究了光栅掩模制作中曝光量和显影条件,离子束刻蚀工艺等因素对光栅衍射效率的影响,并给出一些实验结果。...
[期刊论文] 作者:刘洪亮, 赵逸琼, 李永平, 付绍军, 张巍, 张晓波, 舒, 来源:计算物理 年份:2005
介绍了一种适用于均匀照明的衍射光学元件设计的自洽迭代和优化混合的快速模拟退火法,它引入Tsallis正则分布以及相应的效用函数思想,可以在接近1%的时间内得到和传统模拟退...
[期刊论文] 作者:郑正龙,涂吕星,饶欢乐,邱克强,王旭迪,付绍军,, 来源:真空科学与技术学报 年份:2014
超疏水表面改性可以提高聚碳酸酯(PC)的实用性能。采用氧气等离子体刻蚀的方法对PC基片表面进行处理结合表面沉积疏水性涂层制备了超疏水表面。利用原子力显微镜、X射线光电...
[期刊论文] 作者:贺胜男,刘颖,邱克强,周洪军,霍同林,付绍军, 来源:ChineseOpticsLetters 年份:2010
We propose a general correction method for the efficiency measurement of optical components in the 45–110 nm range to eliminate the contamination of higher-order harmonics at beamline U27 of the Hefei Light Source (HLS). The influence of h......
[期刊论文] 作者:任煜轩, 吴建光, 周小为, 付绍军, 孙晴, 王自强, 李, 来源:物理学报 年份:2004
设计了一种角向分布的相位片,利用离子束刻蚀技术加工成0和π二级的相位片.利用角向衍射理论对相位片的衍射场分析表明,衍射场为拓扑指数相反的两束拉盖尔-高斯光束的叠加场....
[期刊论文] 作者:尉伟,吴晓伟,吕凡,肖云峰,付绍军,裴元吉,韩正甫,, 来源:中国科学技术大学学报 年份:2009
XeF2是一种可以在常温下与硅发生反应的气体,可用作对硅进行干法刻蚀的工作气体,其对硅刻蚀特性呈现各向同性.研制了一个使用脉冲法对二氧化硅/硅体系进行XeF2刻蚀的系统,刻蚀系统......
[期刊论文] 作者:王宇,陈火耀,刘正坤,郑衍畅,洪义麟,付绍军,, 来源:光子学报 年份:2015
介绍了数字编码光栅尺的结构设计并提出一种制作方法.采用紫外对准光刻、全息光刻及湿法腐蚀结合在(100)硅片上制作母光栅尺,并以具有紫外固化特性的聚氨酯丙烯酸酯为材料,将母......
[期刊论文] 作者:楼俊,付绍军,刘正坤,徐向东,何世平,李秉实,吴忠, 来源:光子学报 年份:2007
基于变间距光栅位移传感器的基本原理,研究了高线密度变化率全息平面变间距光栅的制作方法.所作的变间距光栅已应用在变间距光栅位移传感器中,原理样机测试结果表明,系统分辨...
[期刊论文] 作者:楼俊,付绍军,刘正坤,徐向东,何世平,李秉实,吴忠,, 来源:光子学报 年份:2007
基于变间距光栅位移传感器的基本原理,研究了高线密度变化率全息平面变间距光栅的制作方法.所作的变间距光栅已应用在变间距光栅位移传感器中,原理样机测试结果表明,系统分辨...
[期刊论文] 作者:徐向东,周洪军,洪义麟,霍同林,陶晓明,付绍军, 来源:真空科学与技术 年份:2000
随着高亮度同步辐射光源的发展 ,作为同步辐射光束线难题之一的光学元件碳污染问题变得愈来愈严重。光学元件表面的碳污染导致光通量的严重损失 ,特别是在碳吸收边处。更换污...
[期刊论文] 作者:成金秀,温天舒,杨存榜,郑志坚,付绍军,洪义麟, 来源:中国科学(A辑) 年份:1998
介绍了激光等离子体时间、空间、能谱三维分辨测试系统的结构、原理和性能 ,并给出了利用该系统在实验中获得的典型结果 .The structure, principle and performance of 3D...
[期刊论文] 作者:尉伟,吴晓伟,付绍军,王勇,裴元吉,肖云峰,韩正甫,, 来源:Chinese Optics Letters 年份:2007
The silica microdisk optical resonator which exhibits whispering-gallery-type modes with quality factors of 9.67×10~4 is fabricated with photolithographic tech...
[期刊论文] 作者:洪义麟,付绍军,陶晓明,黄文浩,褚家如,L.Monica,A.M.Baro, 来源:真空科学与技术 年份:1995
介绍了用离子束抛光法获得硅的超光滑表面的方法,并给出了不同抛光条件下表面粗糙度的原子力显微镜(AFM)测量结果,其中最好的表面粗糙度达0.12nm(有效值)。The method for obtain...
[期刊论文] 作者:王宇,陈火耀,刘正坤,郑衍畅,洪义麟,付绍军, 来源:光子学报 年份:2015
介绍了数字编码光栅尺的结构设计并提出一种制作方法.采用紫外对准光刻、全息光刻及湿法腐蚀结合在(100)硅片上制作母光栅尺, 并以具有紫外固化特性的聚氨酯丙烯酸酯为材料, 将母光栅尺复制到硬基底上.实验表明, 该工艺可重复性高, 复制光栅尺的衍射效率高于母......
[期刊论文] 作者:尉伟,吴晓伟,付绍军,王勇,裴元吉,肖云峰,韩正甫, 来源:ChineseOpticsLetters 年份:2007
The silica microdisk optical resonator which exhibits whispering-gallery-type modes with quality factors of 9.67*10^(4) is fabricated with photolithographic techniques. Reactive ion beam etching (RIBE) is used to get the silica disks with p......
[期刊论文] 作者:刘洪亮,赵逸琼,李永平,付绍军,张巍,张晓波,舒方杰, 来源:计算物理 年份:2005
 介绍了一种适用于均匀照明的衍射光学元件设计的自洽迭代和优化混合的快速模拟退火法,它引入Tsallis正则分布以及相应的效用函数思想,可以在接近1%的时间内得到和传统模拟...
[期刊论文] 作者:朱向冰,付绍军,叶为全,何世平,陈瑾,徐向东,洪义麟, 来源:光学精密工程 年份:2002
变线距光栅能够自动聚焦和消像差,在同步辐射装置、激光核聚变装置上有着广阔的应用前景,本文用干涉法测量变线距光栅的密度,设计并给出了实验中的光路,发现了环形的干涉条纹...
[期刊论文] 作者:邱克强,刘正坤,陈火耀,徐向东,刘颖,洪义麟,付绍军, 来源:光学精密工程 年份:2011
针对等离子体诊断及空间环境探测等领域对软X射线透射光栅的需要,采用全息光刻和微电镀技术制作了自支撑软X射线金透射光栅。在基底与光刻胶之间增加减反膜层以降低高反射基...
[期刊论文] 作者:周小为,刘颖,徐向东,邱克强,刘正坤,洪义麟,付绍军,, 来源:物理学报 年份:2012
多层介质膜光栅是高功率激光系统的关键光学元件.为了满足国内强激光系统的迫切需求,在大口径多层介质膜光栅的研制过程中,建立了单波长自准直条件下的衍射效率测量方法及其...
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