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[期刊论文] 作者：李升,余斌,陈锋,王友年,
来源：干旱区资源与环境 年份：2021
为查明皮山河绿洲带内地下水水化学及同位素特征,分别在2016年7月、11月采集了研究区内具有代表性的地表水和地下水水样.通过对样品的水化学组成、离子比、Piper三线图、降水...
[会议论文] 作者：温德奇,刘巍,高飞,王友年,
来源：第十七届全国等离子体科学技术会议 年份：2015
半导体芯片制造中至少有三分之一的过程与等离子体有关,而等离子体刻蚀是其中必不可少的工艺之一.Hybrid model计算时间段，速度快Hybrid model能够尽可能全面的考虑化学反应动...
[会议论文] 作者：李莲,张雅,姜巍,王友年,
来源：第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会 年份：2013
强流离子束与固体靶相互作用是产生温稠密等离子体的手段之一,该过程不仅是重要的基础物理问题之一,也有助于对于重离子束驱动惯性约束聚变以及天体物理等过程的理解.目前美国的HIF-VNL正在NDCX-Ⅰ和NDCX-Ⅱ装置上研究中等质量的离子束与固体铝靶相互作用产生温......
[会议论文] 作者：徐会静,赵书霞,王友年,
来源：第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会 年份：2013
引言感性耦合等离子体具有等离子体密度高,放电气压低,装置简单,均匀性好等优点,因此在工业上得到了广泛应用.ICP源具有两种放电模式,E模式和H模式,随着外界输入参数的变化,会发生明显的模式跳变,从而引起等离子体特性发生突变,对等离子体刻蚀和薄膜制备工艺产......
[会议论文] 作者：赵占强,戴忠玲,王友年,
来源：第十五届全国等离子体科学技术会议 年份：2011
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[会议论文] 作者：张权治,侯璐景,王友年,
来源：第十五届全国等离子体科学技术会议 年份：2011
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[会议论文] 作者：王桂秋,刘思远,王友年,
来源：第六届全国计算原子与分子物理学术会议 年份：2016
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[会议论文] 作者：温德奇,张权治,王友年,
来源：第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会 年份：2013
引言芯片刻蚀工艺中,随着晶圆面积的加大,刻蚀槽特征尺寸的减小和深宽比的增加,等离子体刻蚀的选择性和刻蚀槽轮廓等都难以得到保证.脉冲调制等离子体是解决这些问题的一种有效途径.因此近年来,等离子体源的脉冲调制引起研究人员的广泛兴趣.......
[会议论文] 作者：刘巍,高飞,赵书霞,王友年,
来源：第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会 年份：2013
引言感应耦合等离子体(ICP)放电中存在两种放电模式:容性放电(E模式)和感性放电(H模式).增大或减小射频功率放电模式会发生E-H或者H-E模式转换.模式转变过程受等离子体外部控制参数的影响,在低气压时,E-H模式转换时等离子体状态参数是连续的变化;然而在高气压下......
[会议论文] 作者：孙晓艳,李雪春,王友年,
来源：第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会 年份：2013
感应耦合等离子体(ICP)具有低气压、高密度以及均匀性好等优点,在半导体制造工业中得到了广泛应用.混合气体(如Ar/Cl2)更广泛用于薄膜的刻蚀,尤其是多晶硅的刻蚀.然而,混合气体的应用会带来很多问题,如负离子的出现会改变离子流、电子密度、放电空间结构,引起放......
[会议论文] 作者：张钰如,徐翔,A.Bogaerts,王友年,
来源：第十五届全国等离子体科学技术会议 年份：2011
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[期刊论文] 作者：王璐, 李升, 王友年, 王旭东,,
来源：灌溉排水学报 年份：2019
【目的】准确获取阿克苏河下游区灌溉入渗补给系数,对该区灌溉入渗补给系数的影响因素进行分析,为绿洲带高强度人工灌溉模式下地表水地下水转化机理研究,提高研究区地下水数...
[期刊论文] 作者：左春彦,高飞,戴忠玲,王友年,
来源：物理学报 年份：2018
高功率微波在受控热核聚变加热、微波高梯度加速器、高功率雷达、定向能武器、超级干扰机及冲击雷达等方面有着重要的应用.本文针对高功率微波输出窗内侧氩气放电击穿过程,建...
[期刊论文] 作者：张健,任春生,齐雪莲,王友年,
来源：核聚变与等离子体物理 年份：2007
用Langmuir探针对射频（13．56Mnz）感应等离子体进行了诊断，给出了Ar等离子体轴向和径向参数随气压的变化。采用发射光谱测量了等离子体中氩原子的750．3nm谱线强度随气压在轴向的变......
[会议论文] 作者：毕振华,徐翔,张钰如,王友年,
来源：第十五届全国等离子体科学技术会议 年份：2011
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Cu Films Deposited by Unbalanced Magnetron Sputtering Enhanced by ICP and External Magnetic Field Co
[期刊论文] 作者：齐雪莲,任春生,马腾才,王友年,,
来源：Plasma Science and Technology 年份：2008
Metallic copper(Cu) films were deposited on a Si (100) substrate by unbalancedmagnetron sputtering enhanced by radio-frequency plasma and external magnetic fie...
[会议论文] 作者：梅显秀,孙文飞,王友年,马腾才,
来源：2010全国荷电粒子源、粒子束学术会议 年份：2010
利用低气压等离子体喷涂方法在镍基超合金基体上沉积7-8Y2O3稳定的ZrO2(YSZ)热障涂层,然后利用电压为250kV、束流密度为300A/cm2的强流脉冲离子束对所制备涂层进行辐照处理,...
[会议论文] 作者：高飞,赵书霞,王亚萍,王友年,
来源：第十七届全国等离子体科学技术会议 年份：2015
介绍了射频感性藕合C4F8等离子体的离解和电离机制;F、CxFy和离子等活性粒子及其比例的演化规律;初级与次级反应、背景气体的充裕性、EEDF高能电子的演变、以及各离解与电离...
[会议论文] 作者：王友年,高飞,赵书霞,王亚萍,
来源：第十七届全国等离子体科学技术会议 年份：2015
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[会议论文] 作者：刘佳,张权治,刘永新,高飞,王友年,
来源：第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会 年份：2013
引言双频容性耦合等离子体由于其能独立控制入射到处理器件表面的离子通量和能量而被广泛的应用到微电子刻蚀工艺中,刻蚀的效果主要取决于离子能量和角分布情况,所以研究离子能量和角分布对刻蚀工艺至关重要.实验与模拟实验上我们利用具有能量分辨的四级杆质谱......
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