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[期刊论文] 作者：贺胜男,刘颖,周洪军,霍同林,付绍军,
来源：核技术 年份：2009
为抑制合肥同步辐射装置U26光束线掠入射单色仪真空紫外波段的高次谐波，在45-115nm波段研究了Si和Al的反射率特性，结果表明：确定的入射角下，Si和Al的反射率随波长的变化有明显的......
[期刊论文] 作者：洪义麟,刘良保,周小为,徐向东,付绍军,,
来源：真空 年份：2008
在制作大尺寸厚基底衍射光学元件时,经常需要清除残余底胶,为此我们研制了大尺寸衍射光栅灰化装置.该装置可以在450mm×450mm(φ650mm)范围内产生均匀性良好的等离子体,通过...
[期刊论文] 作者：涂吕星,王旭迪,葛良进,金建,付绍军,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2013
热键合技术常用于制备纳米通道,但其需要高温高压的工艺条件,因此难以获得大面积和尺寸可控的纳米通道。本文提出一种利用热键合技术制作尺寸可控的SU-8胶纳米通道的方法,该...
[期刊论文] 作者：葛良进,王旭迪,陈火耀,邱克强,付绍军,,
来源：Chinese Optics Letters 年份：2012
We present a replication process, named reversal soft ultraviolet (UV) nanoimprint, to fabricate a high- aspect-ratio flexible subwavelength grating (SWG) on a...
[期刊论文] 作者：王庆博,刘正坤,陈火耀,王宇,付绍军,
来源：光学学报 年份：2014
为了拓宽软X射线平场全息凹面光栅的工作波段, 提出了并联平场全息凹面光栅的优化设计方法。利用遗传算法, 将两块工作波段不同的平场光栅设计在同一基底上。两块平场光栅的工作波段分别为2~5 nm 和5~30 nm, 两者使用结构完全相同。应用光线追迹的方法, 研究了......
[期刊论文] 作者：王秋平,余小江,高辉,周洪军,付绍军,张允武,
来源：现代科学仪器 年份：2001
国家同步辐射实验室（NSRL）通过建设国家大科学工程项目，在真空紫外和软X-光光学系统方面积累丰富的经验，建立了比较齐全的设计和检测等软件和硬件设施。本文介绍了NSRL已经研制及......
[期刊论文] 作者：郑衍畅,胡华奎,邱克强,王海,徐向东,付绍军,
来源：光学精密工程 年份：2019
全息光刻-单晶硅各向异性湿法刻蚀是制作大高宽比硅光栅的一种重要方法 ,而如何增大光刻胶光栅的占宽比,以提高制作工艺宽容度和光栅质量是急需解决的问题。本文提出了一种热...
[期刊论文] 作者：朱向冰,何世平,付绍军,徐向东,陈瑾,洪义麟,
来源：光学精密工程 年份：2002
变线距光栅在同步辐射装置、激光核聚变装置上有着广阔的应用前景,它的制作和检测方法尚未成熟,本文在介绍变线距光栅线密度变化规律的基础上,采用级数形式表达变线距光栅线...
[期刊论文] 作者：楼俊,徐向东,刘颖,洪义麟,付绍军,何世平,
来源：光学精密工程 年份：2006
简述了全息变间距光栅的几何理论，研究了不同记录参数情况下的刻线弯曲程度。给出了用于评价光栅刻线弯曲程度的表达式，并推导出了它的积分形式，使计算效率提高了2～3倍。结果表明......
[期刊论文] 作者：邱克强,刘正坤,徐向东,刘颖,洪义麟,付绍军,,
来源：物理学报 年份：2012
对光刻胶内光强分布进行了计算与模拟,结果表明,来自基底的反射光与入射光干涉,光强在垂直基底的方向上呈现强弱周期性变化,即驻波效应.进一步的分析与实验结果表明,随着基底...
[期刊论文] 作者：干蜀毅,周卿,徐向东,洪义麟,刘颍,付绍军,
来源：计量学报 年份：2010
将分形法引入光学表面粗糙度评价体系中，以克服常用表面粗糙度评价参数（如Rn、Rq、PSD）随取样点位置、取样长度而变化的弊端。用原子力显微镜（AFM）对样片表面进行测量，计算测量值的......
[期刊论文] 作者：高坤炀,张永贤,周高东,付绍军,田晓娟,
来源：临床医学进展 年份：2016
目的:比较阴式子宫切除术与腹式子宫切除术的临床疗效。方法:回顾性分析2010年5月至2015年5月在本站行阴式子宫切除术与腹式子宫切除术的212例患者的临床资料。分别对照两组...
[期刊论文] 作者：徐向东,刘正坤,邱克强,刘颖,洪义麟,付绍军,
来源：光学精密工程 年份：2012
针对国家同步辐射实验室燃烧与火焰实验站中1 m Seya-Namioka 单色仪对光栅的需求,采用全息离子束刻蚀工艺制作了1 200 lp/mm Laminar光栅。首先,通过光刻胶灰化技术调节光刻...
[期刊论文] 作者：陈慧余,李志超,付绍军,金嗣昭,梁任又,
来源：物理学报 年份：1999
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[会议论文] 作者：陈勇,曹磊峰,邱克强,郑衍畅,徐向东,付绍军,
来源：第五届全国高能量密度物理会议 年份：2014
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[期刊论文] 作者：王琦,郑衍畅,邱克强,刘正坤,徐向东,付绍军,,
来源：光学学报 年份：2014
结合单晶硅各向异性腐蚀和倾斜光刻技术,在14°斜切(110)单晶硅片上成功制作出90°顶角的中阶梯光栅。在1500~1600nm波段对其进行了闪耀级次衍射效率测量,测量结果的趋势与C...
[期刊论文] 作者：徐向东,刘颖,邱克强,刘正坤,洪义麟,付绍军,,
来源：物理学报 年份：2013
多层介质膜光栅是高功率激光系统的关键光学元件.为了满足国内强激光系统的迫切需求,首先利用考夫曼型离子束刻蚀机开展了HfO2顶层多层介质膜脉宽压缩光栅的离子束刻蚀实验研...
[会议论文] 作者：陈勇,邱克强,郑衍畅,徐向东,付绍军,曹磊峰,
来源：第五届全国高能量密度物理会议 年份：2014
作为一种新型的透射光栅,闪耀透射光栅集中了透射和反射光栅的优点,同时避免它们的缺点,衍射效率可高达50％.本文采用全息光刻和湿法刻蚀进行闪耀透射光栅的制作,针对制作工艺中的关键问题——晶向对准,设计了一套适用于单晶硅湿法刻蚀制作光栅的晶向对准方法,其......
[期刊论文] 作者：徐向东,刘正坤,邱克强,刘颖,洪义麟,付绍军,
来源：光学学报 年份：2011
国家同步辐射实验室新建了覆盖5~40 eV的低能区高分辨率角分辨光电子能谱光束线。其球面光栅单色仪包含了三块光栅，即300，600和1200 line/mm球面层式（Laminar）光栅。采用全息离子束刻蚀工艺，在硅光栅基片上成功地刻蚀出1200 line/mm、占空比0.35、槽深35 nm、有效刻......
[期刊论文] 作者：刘颖,徐德权,徐向东,周小为,洪义麟,付绍军,,
来源：中国科学技术大学学报 年份：2007
利用基于射频离子源的离子束刻蚀装置,分别以氩气、三氟甲烷为工作气体,初步研究了离子能量、束流和加速电压等条件对K9、石英、氧化硅薄膜、氧化铪薄膜这4种常用光学材料和...
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