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[期刊论文] 作者：侯云虹,张萌,韩国威,司朝伟,赵咏梅,宁瑾,,
来源：Journal of Semiconductors 年份：2016
Over the past several decades, the technology of micro-electromechanical system(MEMS) has advanced. A clear need of miniaturization and integration of electroni...
[期刊论文] 作者：康中波,韩国威,司朝伟,钟卫威,赵永梅,宁瑾,,
来源：微纳电子技术 年份：2012
采用与IC工艺兼容的硅表面MEMS加工技术,以碳化硅材料作为结构材料,研制出一种新型的基于谐振原理工作的RF MEMS滤波器。详细介绍了器件的工作原理、制备方法、测试技术和结...
[期刊论文] 作者：郑中山,宁瑾,张百强,刘忠立,罗家俊,韩郑生,,
来源：Science China Materials 年份：2016
为提高绝缘体上硅材料(SOI)中的埋氧层(BOX)的抗总剂量辐射能力,采用离子注入方式,使用氮氟复合注入,对材料的BOX进行了离子注入改性.以改性的BOX制作多晶硅栅-BOX-半导体衬...
[期刊论文] 作者：宋培帅, 马静, 马哲, 张淑媛, 司朝伟, 韩国威, 宁瑾,
来源：激光与光电子学进展 年份：
最近二十年,量子定位系统(QPS)作为新型导航技术因其特有的信息传输优势得到飞速发展。本文简要介绍了卫星导航与惯性导航系统的原理及各自面临的问题,主要阐述了量子定位导...
[期刊论文] 作者：宋培帅, 马静, 马哲, 张淑媛, 司朝伟, 韩国威, 宁瑾,,
来源：激光与光电子学进展 年份：2018
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[会议论文] 作者：王亮,宁瑾,孙国胜,刘兴昉,赵永梅,赵万顺,王雷,
来源：第十五届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 年份：2007
提出了一种采用表面微加工技术制作叉指状多晶3C-SiC横向谐振器的制作方案。利用氧化硅材料作为器件结构的隔离层和牺牲层，并在氧化硅上异质沉积生长2微米厚的多晶SiC材料...
[会议论文] 作者：王亮,赵万顺,宁瑾,孙国胜,刘兴昉,王雷,赵永梅,
来源：第十五届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 年份：2007
提出了一种采用表面微加工技术制作叉指状多晶3C-SiC横向谐振器的制作方案。利用氧化硅材料作为器件结构的隔离层和牺牲层，并在氧化硅上异质沉积生长2微米厚的多晶SiC材料，在大气环境下，采用光学MEMS动态分析设备，成功测量了不同尺寸谐振器的工作情况，器件的谐振频率......
[期刊论文] 作者：赵永梅,孙国胜,宁瑾,刘兴防,赵万顺,王雷,李晋闽,
来源：半导体学报 年份：2008
采用低压化学气相沉积方法在无掩模的硅图形衬底上异质外延生长3C-SiC.硅图形衬底采用光刻和ICP刻蚀得到.图形由平行长条状沟槽和台面组成,其中沟槽宽度为1-10μm不同间隔,沟...
[期刊论文] 作者：赵永梅,孙国胜,宁瑾,刘兴昉,赵万顺,王雷,李晋闽,
来源：半导体学报 年份：2004
采用低压化学气相沉积方法在无掩模的硅图形衬底上异质外延生长3C-SiC.硅图形衬底采用光刻和ICP刻蚀得到.图形由平行长条状沟槽和台面组成,其中沟槽宽度为1～10μm不同间隔,沟...
Feed-through cancellation of a MEMS filter using the difference method and analysis of the induced n
[期刊论文] 作者：韩国威,司朝伟,宁瑾,钟卫威,孙国胜,赵永梅,杨富华,,
来源：Journal of Semiconductors 年份：2013
This paper presents and analyzes a notch observed in MEMS(micro electric mechanical system) filter characterization using the difference method.The difference m...
[期刊论文] 作者：赵永梅,孙国胜,宁瑾,刘兴昉,赵万顺,王雷,李晋闽,,
来源：半导体学报 年份：2008
采用低压化学气相沉积方法在无掩模的硅图形衬底上异质外延生长3C-SiC.硅图形衬底采用光刻和ICP刻蚀得到.图形由平行长条状沟槽和台面组成,其中沟槽宽度为1~10μm不同间隔,沟...
[期刊论文] 作者：宋培帅,马静,马哲,张淑媛,司朝伟,韩国威,宁瑾,杨富华,王,
来源：激光与光电子学进展 年份：2018
最近二十年,作为一种新型导航技术,量子定位系统（QPS）因其特有的信息传输优势得到了飞速发展。简要介绍了卫星导航与惯性导航系统的原理及各自面临的问题,阐述了量子定位导航系......
[期刊论文] 作者：孙国胜,宁瑾,高欣,攻全成,王雷,刘兴昉,曾一平,李晋闽,
来源：人工晶体学报 年份：2005
利用台阶控制外延生长技术在偏晶向Si-面衬底上进行了4H-SiC的同质外延生长研究,衬底温度为1500℃,在厚度为32μm、载流子浓度为2～5×1015cm-3的外延材料上制备出了反向阻...
[期刊论文] 作者：孙国胜,宁瑾,高欣,攻全成,王雷,刘兴日方,曾一平,李晋闽,,
来源：人工晶体学报 年份：2005
利用台阶控制外延生长技术在偏晶向S i-面衬底上进行了4H-S iC的同质外延生长研究,衬底温度为1500℃,在厚度为32μm、载流子浓度为2~5×1015cm-3的外延材料上制备出了反向阻...
[期刊论文] 作者：王亮,孙国胜,刘兴防,赵永梅,宁瑾,王雷,赵万顺,曾一平,李,
来源：微纳电子技术 年份：2008
提出了一种用于MEMS的硅基SiC微通道（阵列）及其制备方法，它涉及半导体工艺加工硅晶片和化学气相淀积方法制备SiC。在Si（100）衬底上用半导体工艺刻蚀出凹槽微结构，凹槽之间留出台面，......
[期刊论文] 作者：刘兴昉,孙国胜,李晋闽,赵永梅,宁瑾,王雷,赵万顺,罗木昌,,
来源：半导体学报 年份：2007
制备了4种具有不同光窗口台面结构的4H-SiC紫外探测器#1,#2,#3和#4,并分别测试它们的紫外光响应谱.器件制备在4H-SiC同质外延层上,台面为垂直结构,其中探测器#1光窗口区由透...
[期刊论文] 作者：王亮,赵永梅,宁瑾,孙国胜,王雷,刘兴坊,赵万顺,曾一平,李,
来源：半导体学报 年份：2008
介绍了一种微机械叉指静电驱动折叠悬臂梁谐振器的设计和制作方法.将Rayleigh分析法和有限元分析法结合起来分析调整器件尺寸和材料参数对器件性能的影响.制作了三种不同悬臂...
[期刊论文] 作者：王亮,赵永梅,宁瑾,孙国胜,王雷,刘兴坊,赵万顺,曾一平,李,
来源：半导体学报 年份：2004
介绍了一种微机械叉指静电驱动折叠悬臂梁谐振器的设计和制作方法.将Rayleigh分析法和有限元分析法结合起来分析调整器件尺寸和材料参数对器件性能的影响.制作了三种不同悬臂...
[期刊论文] 作者：杨挺,孙国胜,吴海雷,闫果果,宁瑾,赵永梅,刘兴防,罗木昌,,
来源：微纳电子技术 年份：2010
主要介绍了近年来国内外出现的有市场推广潜力的立方相碳化硅(3C-SiC) MEMS器件,详细描述了其中一些典型器件的基本结构、加工工艺及初步测试结果,并指出了要想提高器件的可...
[期刊论文] 作者：王亮,孙国胜,刘兴昉,赵永梅,宁瑾,王雷,赵万顺,曾一平,李晋闽,,
来源：微纳电子技术 年份：2008
提出了一种用于MEMS的硅基SiC微通道(阵列)及其制备方法,它涉及半导体工艺加工硅晶片和化学气相淀积方法制备SiC。在Si(100)衬底上用半导体工艺刻蚀出凹槽微结构,凹槽之间留...
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