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[期刊论文] 作者:余吟山,游利兵,梁勖,方晓东,, 来源:中国激光 年份:2010
介绍了准分子的基本能级结构、光谱特性及产生激光的激励方式。简要回顾了准分子激光及实用准分子器件的发展历史。着重阐述了放电激励准分子器件的相关技术,如大能量与大功...
[期刊论文] 作者:赵家敏,游利兵,余吟山,方晓东,, 来源:强激光与粒子束 年份:2013
研制了一台KrF大能量准分子激光器,激光器采用紧凑型Chang电极与紫外火花预电离的结合,实现了激活区大面积的均匀辉光放电,利用LC反转倍压以及一级磁脉冲压缩技术在放电电容...
[期刊论文] 作者:赵家敏,游利兵,余吟山,方晓东,, 来源:量子电子学报 年份:2013
实用型大能量高功率准分子激光器广泛地应用于材料的加工及表面处理,介绍了其在液晶平板显示行业、太阳能光伏行业、半导体行业及汽车制造业的应用。分析了大能量高功率准分子......
[期刊论文] 作者:汪建业,王建国,徐之海,江海河,余吟山, 来源:中国激光 年份:1998
介绍了一台重复率运转的灯泵掺钛宝石激光器的开关电源。其中包括高压开关电路和双预燃电路。电源输出功率达2kW,重复率为5Hz。A switching power supply with a doping of Ti: Ti...
[期刊论文] 作者:周卫东,王永红,余吟山,汪建业, 来源:中国激光 年份:1997
在分析影响闸流管寿命诸因素的基础上,讨论了利用磁助器延长闸流管使用寿命的原理和方法,并在准分子激光器中设计和使用磁助器,较好地解决了高压快放电中开关器件——闸流管使用......
[期刊论文] 作者:朱志强,余吟山,邓国庆,贺龙海,张玉亮, 来源:激光杂志 年份:2005
当今眼科LASIK手术成为近视眼患者摘除眼镜的最佳选择.文章论述了准分子激光消融眼球角膜的基本原理和数学模型,提出了把角膜治疗区域有目的地划分成30个或60个消融道的模式,...
[期刊论文] 作者:吴路生,周海,丁勇,殷绍唐,余吟山, 来源:量子电子学报 年份:1999
本文从实验和理论上研究了Er:YAG激光器的谐振腔腔长对泵浦阈值和斜率效率的影响.导出了它们之间的数学表达式,说明了腔长影响的主要因素是腔内水汽对2.94μm激光的强烈吸收.In this pape......
[期刊论文] 作者:余吟山,王华胜,李广寅,张志平,汪建业, 来源:中国激光 年份:1989
报道了一台中功率高稳定度高效率实用型XeOl准分子激光器及其工作特性.最大单脉冲能量为405mJ,最大平均功率达到3lW.不同电压下的转换效率均大于1.4%,最高达1.8%.在工作电压为22kV左右时进行10~6次寿命试验,其输出功率保持15W,波动性小于±7%.......
[期刊论文] 作者:王庆胜,游利兵,余吟山,赵家敏,方晓东,, 来源:强激光与粒子束 年份:2013
由于寿命制约,准分子激光器使用的传统放电开关闸流管不能满足准分子激光器高重复频率长期稳定工作运行的要求。设计了基于两级磁脉冲压缩技术的全固态脉冲功率模块,使用大功率......
[期刊论文] 作者:樊友平,黄席樾,廖传锦,周欣,余吟山, 来源:仪器仪表学报 年份:2003
大型准分子激光器的运行控制是一个多影响因素、多控制目标,且存在本质非线性和时滞性的复杂控制系统,很难建立准确的数学模型和确定最优解.根据实际手动控制数据,采用模糊控...
[期刊论文] 作者:冯瑜,王进祖,余吟山,徐之海,陆志贤, 来源:量子电子学报 年份:2004
使用Nd:YAG激光器的倍频(0.532 μm)光泵浦BBO晶体光参量振荡器,使用一组腔片,获得0.7~2.1μm可调谐激光输出,并对实验结果进行了分析....
[期刊论文] 作者:王华胜,倪晋智,汪建业,朱广寅,余吟山, 来源:光学学报 年份:1989
本文报道紫外预电离放电泵浦的高重复率XeCl准分子激光器的放电特性,分析了放电参数的改变对放电过程的影响.最佳转换效率达2.2%....
[期刊论文] 作者:厉彦超,游利兵,王庆胜,余吟山,方晓东,, 来源:激光技术 年份:2013
为了解决高重复率下准分子激光电源磁脉冲压缩开关的磁芯复位问题,以理论分析为指导,结合磁开关工作特性,设计了一种磁芯精确复位电路,该电路可快速精确复位饱和后的磁开关。将此......
[期刊论文] 作者:游利兵,周翊,梁勖,余吟山,方晓东,王宇,, 来源:量子电子学报 年份:2010
193nmArF准分子激光光刻技术已广泛应用于90nm以下节点半导体量产。分析了近期发展用于改进准分子激光性能的关键技术:主振一功率再生放大(MOPRA)结构,主振一功率振荡(MOPO)结构,主......
[期刊论文] 作者:游利兵,梁勖,余吟山,李会,王庆胜,王效顺,, 来源:强激光与粒子束 年份:2009
针对脉冲能量5~8mJ的ArF准分子激光器,设计了基于可控硅开关结合三级磁脉冲压缩开关的全固态脉冲电源,采用园产可控硅和磁开关材料,获得了上升时间约150EIS,电压10~14kV,传递能量0.35......
[期刊论文] 作者:周卫东,余吟山,洪玲,季明,高晓明,张为俊, 来源:光学学报 年份:1998
利用受激布里渊散射(SBS)相位共轭镜改善XeCl激光光束质量和压缩脉冲宽度,给出了脉宽与泵浦能量、焦点位置的关系。光脉冲宽度从50ns压缩到17ns,光束发散角也减小到原来的1/3,散射光功率密度也较泵浦光得到了提高。......
[期刊论文] 作者:刘毅,方晓东,梁勖,高健,余吟山,王效顺,罗乐,, 来源:中国激光 年份:2012
研制了一台用于白癜风治疗的308nm XeCl准分子激光系统。根据准分子激光器脉冲式放电的特点,设计了推挽式脉冲开关电源。实验研究了激光器脉冲重复频率、工作电压、气体寿命...
[期刊论文] 作者:王效顺,余吟山,王庆胜,梁勖,游利兵,方晓东,, 来源:中国激光 年份:2011
248 nm放电抽运KrF准分子激光器在微电子学和医学等领域有重要的应用价值。在大多数应用中,激光器的最大输出效率和能量都是十分重要的参数。为了提高激光器输出效率和能量,...
[期刊论文] 作者:余吟山,方晓东,李会,汪建业,张志平,高月凤,李广寅, 来源:量子电子学 年份:1996
介绍一台放电泵浦的XeCl准分子激光器。其最大单脉冲能量550mJ,在280Hz工作时输出功率达106WA discharge-pumped XeCl excimer laser is introduced. The maximum single-pulse energy 550mJ,......
[期刊论文] 作者:余吟山,方晓东,汪建业,张志平,李会,高月风,李广寅, 来源:量子电子学 年份:1995
本文介绍了用于准分子激光器中的磁脉冲压缩开关的原理和结构,分析了磁脉冲压缩开关在激光器激励电路中的工作过程,并且给出了实验结果。实验表明,磁脉冲庄缩开关有效地压缩电流......
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