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[会议论文] 作者：王晓冬[1]巴德纯[1]周亚[1]李景舒[1]蒋婷婷[1]陶继忠[2],
来源：中国真空学会2014年年会 年份：2014
筒式牵引分子泵具有结构简单、压缩比高等优点，常常作为复合分子泵中的压缩级，在清洁高真空、超高真空环境的获得中起到了重要作用。筒式牵引分子泵抽气性能受螺旋几何参数......
[会议论文] 作者：王晓冬[1]巴德纯[1]李景舒[1]蒋婷婷[1]周亚[1]陶继忠[2],
来源：中国真空学会2014年年会 年份：2014
复合分子泵结合了涡轮分子泵大抽速、牵引分子泵压缩比高的优点，在很宽压力范围内具有优越的性能，已经成为半导体薄膜制备等领域中的重要真空获得设备。随着复合分子泵应用......
[会议论文] 作者：王晓冬[1]巴德纯[1]蒋婷婷[1]周亚[1]李景舒[1]陶继忠[2],
来源：中国真空学会2014年年会 年份：2014
涡轮分子泵作为获得清洁高真空、超高真空环境的主要设备，在半导体、粒子加速器、薄膜制备、小型环境模拟等装置中得到应用。涡轮分子泵主要工作在分子流态下，其抽气性能由......
[期刊论文] 作者：段启惠,李灿伦,刘坤,巴德纯,王光玉,孔祥玲,刘在行,张振厚,
来源：真空 年份：2018
全球半导体、薄膜等新兴行业的生产制造要求对真空泵的结构设计和优化提出了新的要求与挑战。以高度集成、高效节能、简洁紧凑为代表的创新设计理念取代传统设计要求,是目前...
[期刊论文] 作者：张浩,窦仁超,刘坤,孟冬辉,巴德纯,杜广煜,巴要帅,孙立臣,闫荣,
来源：航天器环境工程 年份：2019
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[会议论文] 作者：刘坤[1]巴德纯[1]张振厚[2]王光玉[2]岳向吉[1]杨乃恒[1],
来源：广东省真空学会2010年年会暨广东省真空与低碳技术交流会 年份：2010
近年来,受半导体制造、液晶注入、太阳能光伏、电子器件、薄膜等新兴行业和化工、制药等传统行业的带动,真空应用的领域在不断地扩大,抽气工艺也越来越复杂,对真空泵的要...
[会议论文] 作者：时东霞[1]巴德纯[2]胡文斐[3]李林[3]庞世瑾[1]高鸿钧[4],
来源：第五届全国微米/纳米技术学术会议 年份：2001
利用激光脉冲沉积法在钛酸锶SrTiO(001)斜切基片上外延生长YBaCuO薄膜,斜切方向是沿(001)面向[010]方向.在大气、室温条件下,采用扫描探针显微镜(SPM)对YBaCuO薄膜的表面形貌...
[期刊论文] 作者：段启惠,李灿伦,刘坤,巴德纯,王光玉,孔祥玲,刘在行,张振厚,孙,
来源：真空 年份：2018
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[会议论文] 作者：张朔熙,吴文坤,赵雅璋,刘坤,巴德纯,黄成,蔡旭,秦柏林,王光玉,
来源：第十四届国际真空科学与工程应用学术会议论文（摘要）集 年份：2020
干式螺杆真空泵（DSVP）是一种具有广阔应用前景和巨大市场潜力的干式真空泵,目前已成功应用于半导体、医药、食品、化工等众多工业领域。螺杆转子是DSVP中最关键的抽气部件,其螺旋线展开形式及端面型线参数直接决定着泵的工作性能和使用寿命。本文旨在探究不同螺杆......
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