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[期刊论文] 作者:娄向东,沈荷生,沈瑜生, 来源:传感器技术 年份:1991
本文综述了ZnO系气敏半导体材料的发展慨况,讨论了元件的结构与气敏效应的关系,评述了解释ZnO系气敏材料性质的敏感机理,探讨了目前存在的问题及今后的发展方向。In this p...
[期刊论文] 作者:娄向东,沈荷生,沈瑜生, 来源:传感器技术 年份:1994
用溅射法制备了SnO_2/ZnO薄膜,采用XPS,AFS,SEM,等手段研究了薄膜的表面及界面,发现在薄膜中,锌与锡存在不同深度的相互扩散,从SEM的断面观察可看到有一个明显的界面存在。XR...
[期刊论文] 作者:娄向东,沈荷生,沈瑜生, 来源:传感技术学报 年份:1995
将SnO2及ZnO粉末压制成靶材,采用溅射衍制备了ZnO/SnO2双层薄膜,用XPS,XRD,SEM等手段对制得的薄膜进行分析测试,发现双层膜表面有一定量的吸附氧存在,双层膜中锌、锡有一定的相互扩散,比较了单层SnO2及ZnO膜与双层膜......
[期刊论文] 作者:娄向东,沈荷生,沈瑜生, 来源:传感技术学报 年份:1993
薄膜元件应用前景广阔,为进一步探索多层薄膜元件的性能,我们对SnO_2及ZnO体系作了分析研究,得到了双层膜在灵敏度与选择性方面都明显优于单层膜的结论.本文介绍SnO_2/α...
[会议论文] 作者:娄向东,沈荷生,沈瑜生, 来源:第二届全国敏感元件传感器学术会议 年份:1991
[期刊论文] 作者:娄向东,沈荷生,沈瑜生, 来源:传感技术学报 年份:1992
用X光光电子能谱(XPS),结合Ar~+刻蚀对Fe_2O_3/SnO_2及Fe_20_3/SnO_2双层薄膜进行分析.结果表明:Fe_2O_3/SnO_2膜表面,晶格氧的结合能为529.85eV,热处理前有大量吸附氧存在,...
[期刊论文] 作者:陈创天,刘执平,沈荷生, 来源:物理学报 年份:1981
本文使用CNDO/S型近似方法,计算(NO2)-1的单电子分子轨道,然后按基团理论的通用计算程序计算NaNO2晶体的倍频系数,计算值和实验值符合得较好,计算结果明确指出:NaNO2晶体倍频系...
[期刊论文] 作者:曾宇平,高兆芬,沈荷生, 来源:传感器与微系统 年份:2006
利用共沉淀法制备了ZnSnO3粉体,通过直流溅射制备了气敏薄膜。研究了老化温度、薄膜的组成对气体的灵敏度影响。实验结果表明1600℃老化后,气敏膜薄膜的主要成分是ZnSnO3,在450...
[期刊论文] 作者:孙方宏,陈明,张志明,沈荷生, 来源:功能材料与器件学报 年份:2001
用HFCVD法在硬质合金(YG6)刀具衬底上沉积金刚石薄膜,用氢微波等离子体刻蚀的方法对衬底进行表面预处理,研究了该预处理技术对WC硬质合金衬底表面成分的影响。进一步探讨了所沉积......
[期刊论文] 作者:孙方宏,陈明,张志明,沈荷生, 来源:机械工程学报 年份:2003
采用电子增强热丝EACVD法,以WC-Co硬质合金刀具为衬底制备金刚石涂层刀具,研究了提高涂层附着力的衬底预处理新方法,探讨了抑制Co催石墨化作用的有效措施,提出了改善金刚石薄...
[期刊论文] 作者:孙方宏,张志明,沈荷生,陈明, 来源:功能材料与器件学报 年份:2001
用HFCVD法在硬质合金( YG6)刀具衬底上沉积金刚石薄膜,用氢微波等离子体刻蚀的方法 对衬底进行表面预处理, 研究了该预处理技术对 WC硬质合金衬底表面成分的影响。 进一步探 讨......
[会议论文] 作者:孙方宏,陈明,张志明,沈荷生, 来源:第十一届全国磨削技术学术会议 年份:2001
[期刊论文] 作者:娄向东,夏志清,沈荷生,沈瑜生, 来源:河南师范大学学报:自然科学版 年份:1993
将纯的ZnO及SnO_2采用等离子溅射法制成ZnO/SnO_2双层膜,用XPS,SEM,XRD等手段对薄膜进行了分析测试。比较了单层SnO_2及ZnO薄膜与双层ZnO/SnO_2膜的气敏性质,发现双层膜较单...
[期刊论文] 作者:曾宇平,孟魏,沈荷生,沈瑜生, 来源:传感器技术 年份:1993
XPS分析表明,用直流溅射法制备的掺钯薄膜气敏元件,钯的溅射率比锡高,在薄膜中钯的含量高于靶中的含量、和纯SnO_2薄膜相比,此元件对还原性气体有很高的灵敏度,尤其对H_2和CH...
[期刊论文] 作者:何贤昶,张志明,沈荷生,李戈扬, 来源:上海交通大学学报 年份:1995
本文利用金相分析、X射线衍射等方法,对HFCVD法沉积金刚石薄膜时使用的钨丝和钽丝在不同碳化条件下灯丝成分和结构变化作了分析研究,解释了碳化钽丝表面色泽金黄的原因,并在相同沉积条......
[期刊论文] 作者:张志明,沈荷生,孙方宏,郭松寿, 来源:电线电缆 年份:2003
本文简要介绍了化学气相法(CVD)沉积金刚石薄膜原理和涂层模具的制备方法,以WC-Co硬质合金紧压模为衬底,用热丝CVD法沉积得到纳米金刚石复合涂层.检测了该涂层的X射线衍射图...
[会议论文] 作者:孙方宏, 张志明, 沈荷生, 郭松寿,, 来源: 年份:2004
CVD金刚石薄膜具有十分接近天然金刚石的硬度、高的弹性模量、极高的热导率、良好的自润滑性和化学稳定性等优异性能,然而,常规CVD金刚石薄膜是由微米级(几微米到几十微...
[期刊论文] 作者:简小刚,陈明,孙方宏,张志明,沈荷生, 来源:稀有金属材料与工程 年份:2004
根据内涨作用下薄膜发生鼓泡变形的原理,开发了1种新的适用于金刚石膜附着强度精确定量评价的测试系统.并在传统的硅平面加工工艺的基础上发展了1种新的在沉积好的基片上制备...
[期刊论文] 作者:简小刚,孙方宏,陈明,张志明,沈荷生, 来源:金刚石与磨料磨具工程 年份:2003
金刚石薄膜膜基结合强度的测量与评价是其制备与应用的关键.本文根据内涨作用下薄膜发生鼓泡变形的原理,开发了一种新的适用于金刚石薄膜膜基结合强度定量检测的测试系统,并...
[会议论文] 作者:张志明, 孙方宏, 沈荷生, 陈明, 万永中,, 来源: 年份:2004
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