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[期刊论文] 作者:金占雷,谭久彬,张山,王雷,, 来源:光学学报 年份:2008
为了提高激光直写加工衍射光学元件时的线条质量,提出一种离焦激光直写的线宽稳定方法。该方法通过同时调节激光功率和离焦量,使光刻胶的曝光阈值处于线宽对曝光量的变化率较...
[期刊论文] 作者:崔继文,谭久彬,刘丹丹,CUIJi-wen,TANJiu-b, 来源:计量学报 年份:2006
[期刊论文] 作者:陈洪芳,谭久彬,钟志,CHENHong-fang,TANJi, 来源:计量学报 年份:2008
[期刊论文] 作者:谭久彬,赵维谦,杨文国,TANJiubin,ZHAOWeiq, 来源:中国机械工程 年份:2001
[期刊论文] 作者:刘正君,耿勇,谭久彬,LiuZhengjun,GengYon, 来源:城市道桥与防洪 年份:2019
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
[期刊论文] 作者:胡鹏程,谭久彬,闫磊,付海金,, 来源:光学精密工程 年份:2008
提出了一种新的基于预热温度轨迹规划和轨迹跟踪的塞曼稳频激光器预热控制方法。根据纵向塞曼激光器稳频控制过程的特点,规划了预热过程中谐振腔的一阶指数温度轨迹,以在不同...
[会议论文] 作者:陆振刚,张云龙,李淼淼,谭久彬, 来源:第十六届全国光学测试学术交流会 年份:2016
[会议论文] 作者:卢溪,陆振刚,李淼淼,谭久彬, 来源:第十七届全国光学测试学术交流会 年份:2018
  近年来,激光干涉测量技术在科学研究和工业生产中得到了广泛应用,具有多轴测量能力的激光干涉仪是光刻机等超精密加工装备中的核心部件。多轴干涉镜组是激光干涉仪实现多轴......
[期刊论文] 作者:张喆,林茂六,Jan Verspecht,谭久彬,, 来源:仪器仪表学报 年份:2007
本文首先提出了一个在NTN(nose-to-nose)校准中实际应用的50GHz宽带采样电路的SPICE默认仿真模型;然后通过设计采样电路的模型参数,使仿真的NTN冲击响应与实际测量重构的50GHz宽带采样示波器冲击相应波形基本相似。当仿真结果和测量结果近似时,可以通过仿真实验......
[期刊论文] 作者:刘杨, 李理, 陈思文, 谭久彬, 来源:激光与光电子学进展 年份:2022
对于步进扫描投影光刻机,掩模台和工件台的同步伺服性能将直接影响整机技术指标。掩模台和工件台是典型的六自由度超精密运动台,在耦合动力学、复杂内外部干扰条件下兼顾高动态和超精密运动是其核心控制难题,研究和发展面向集成电路光刻的超精密运动台控制技术对于......
[期刊论文] 作者:张元飞, 樊绍巍, 刘宏, 谭久彬,, 来源:电机与控制学报 年份:2018
为了提高步进电机在开环控制情况下的速度跟踪控制性能,提出了基于脉冲周期控制参数值条件更新的期望脉冲无抖动输出方法。首先,根据相邻时刻的两个期望脉冲周期值间的数学关...
[期刊论文] 作者:赵维谦,谭久彬,邱丽荣,章雷, 来源:光电子.激光 年份:2004
基于光束漂移量反馈通过PZT驱动的微角度控制,实时动态检测和控制激光光束特定方向的平漂量和角漂量,以达到出射光束特定方向的高稳定性.准直系统中对光束平漂量和角漂量进行...
[期刊论文] 作者:钟志,谭久彬,陈洪芳,单明广, 来源:光电子.激光 年份:2005
为了精确测量激光外差干涉非线性误差,提出了一种新的激光外差干涉非线性误差测量方法.通过对来自激光外差干涉测量臂的输出信号直接进行数据采集和频谱分析,分离出非线性误...
[期刊论文] 作者:金占雷,谭久彬,王雷,刘玉涛,, 来源:光电子.激光 年份:2008
为解决传统的接头闭合方法不能兼顾对接质量和写入效率问题,提出一种基于S曲线光强控制的激光直写接头光滑闭合方法。采用由直线和圆弧组合成的光滑S曲线控制封闭结构接头处的......
[期刊论文] 作者:杨宏兴,谭久彬,胡鹏程,付海金,, 来源:光电子.激光 年份:2008
针对目前激光外差干涉实时测量中,由于现场工作环境的限制,无法对闲区误差进行实时自动补偿的问题,提出了一种基于实时测量闲区值和折射率值的闲区误差补偿方法。该补偿方法...
[期刊论文] 作者:张元飞,樊绍巍,刘宏,谭久彬,, 来源:哈尔滨工业大学学报 年份:2018
为利用负温度系数(NTC)热敏电阻实现定区间高温检测,提出一种基于期望相对温度跟踪控制策略的温度检测系统参数优化调整方法.利用NTC热敏电阻标称值,针对目标温度区间进行温...
[期刊论文] 作者:钟志,谭久彬,陈洪芳,单明广, 来源:光电工程 年份:2005
为了减小激光外差干涉非线性误差,必须考虑偏振分光镜透过率和反射率不等对非线性误差的影响.通过分析两臂透过率与反射率不等对测量信号的影响,推导出两臂反射率与透过率不...
[期刊论文] 作者:赵维谦,谭久彬,杨文国,赵熙萍, 来源:Journal of Harbin Institute of Technology 年份:1997
This paper introduces a high precision 7m laser measuring instrument developedby the anthors and its operating principle,and systematically analyses the errors...
[期刊论文] 作者:谭久彬,李东升,强锡富,王伟杰, 来源:计量学报 年份:1995
本文深入分析了在大型精密仪器上对大型试件精确定位时,调控系统产生机械“爬行”和机械“漂移”的机理;提出了实现精确定位的状态一致原则和功能分离原则。介绍了根据上述原则......
[期刊论文] 作者:陈洪芳,丁雪梅,钟志,谭久彬, 来源:中国激光 年份:2004
为了减小激光外差干涉纳米测量的非线性误差,必须明确检偏器旋转误差对非线性误差的影响机理与消除方法.通过分析激光外差干涉检偏器旋转误差对非线性误差的影响,推导出检偏...
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