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[期刊论文] 作者：崔国平,杨海钢,夏善红,尹韬,李策,,
来源：电子器件 年份：2007
为了将基于MEMS技术的微型电场传感器与其信号处理电路集成在一个芯片上,设计了一种CMOS前置放大电路.该电路利用工作在线性区的长沟道MOSFET晶体管代替传统的无源器件做反馈...
[期刊论文] 作者：汪祖民,韩泾鸿,任振兴,陈绍凤,夏善红,,
来源：传感器与微系统 年份：2007
聚合物具有许多无机物没有的特性，已被越来越多地应用到pH—ISFET中，主要体现在4个方面，即pH敏感膜、pH钝化膜、结构材料及封装材料。在介绍pH—ISFET工作机理的基础上，分析了其......
[期刊论文] 作者：郭鑫,杨鹏飞,张海岩,彭春荣,夏善红,,
来源：传感技术学报 年份：2010
介绍了热驱动微型电场传感器的工艺流程,主要介绍了微型电场传感器的释放干燥工艺。热驱动微型电场传感器工艺存在的最大问题是牺牲层释放以后容易产生粘连,为了避免粘连现象...
[期刊论文] 作者：龚超，陶虎，白强，陈绍凤，夏善红，GongChao，TaoH,
来源：中国机械工程 年份：2005
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[期刊论文] 作者：郭鑫，张海岩，彭春荣，夏善红，GUOXin，ZHANGHai,
来源：仪表技术与传感器 年份：2009
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[会议论文] 作者：许媛媛[1]边超[1]陈绍凤[2]夏善红[2],
来源：中国微米纳米技术第七届学术年会 年份：2005
采用微机电系统(MEMS)技术制备出电化学微型电极芯片,并运用自组装技术修饰微型电极表面用于抗体的固定化,研制出新型的电化学微型免疫微传感器.采用MEMS技术,在硅片上制...
[期刊论文] 作者：夏善红,刘加,陈绍凤,韩泾鸿,崔大付,
来源：半导体学报 年份：1997
本文提出并研究了新型的“台阶阴极”和“曲面阴极”真空微电子压力传感器，与普通的真空微电子压力传感器相比，新型传感器的阴极发射电流大大提高，使得输出信号易于检测，抗噪声能......
[期刊论文] 作者：夏善红,崔大付,韩泾鸿,陈绍凤,王利,
来源：功能材料与器件学报 年份：1996
本文提出并研究了一种新型台阶阵列阴极真空微电子压力传感器。与平面阵列阴极真空微电子压力传感器相比，该传感器在扩展量程和提高灵敏度方面有较大的潜力。作者展示了计算机......
[会议论文] 作者：陈博贤,刘光诒,苏杰,朱敏慧,夏善红,
来源：第七届中国真空微电子学与场致发射学术年会 年份：1999
本文采用不同的近似计算方法，对真空微电子三极管中阴极尖端电场强度分布及电子渡越时间进行了研究、分析和比较，找出了几种电子渡越时间近似计算方法的共同点，统一了电子渡越时......
[会议论文] 作者：王晋芬,边超,佟建华,孙楫舟,夏善红,
来源：第十二届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：2012
结合微机电系统(Micro Electro-Mechanical System,MEMS)技术制备了微型电化学三电极系统,并采用纳米金(gold nanoparticles,AuNPs)、半胱氨酸(L-cysteine,L-cys)以及天冬氨...
[期刊论文] 作者：侯佳虹,佟建华,边超,张建刚,夏善红,,
来源：强激光与粒子束 年份：2016
总磷是检测水体富营养化的重要指标,因此研究其消解具有重要的意义。总磷的消解方法有很多,例如传统的高温消解、微波消解、紫外消解、电催化消解、光催化消解等,但是既高效...
[会议论文] 作者：陈贤祥,彭春荣,白强,陈绍凤,夏善红,
来源：第九届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：2005
本文提出了一种新型的热驱动微型电场传感器,它具有驱动电压低、体积小、结构紧凑,易于集成,能够采用标准的CMOS集成电路作为激励信号源等优点.该微型电场传感器采用PolyMUMPs(多晶硅多用户MEMS工艺)表面微细加工技术加工,其结构主要包括屏蔽电极、感应电极和热......
[会议论文] 作者：魏金宝,杨海钢,孙红光,蔺增金,夏善红,
来源：第九届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：2005
本文主要讨论pH-ISFET(IonSensitiveFieldEffectTransistor)和传感信号检测电路通过标准的CMOS工艺集成,其为目前的一个研究焦点.ISFET微传感器能检测多项生化指标,它是通过ISFET栅极上不同敏感薄膜材料与被测溶液中离子的化学反应来实现的.读取电路与ISFET微传......
[会议论文] 作者：白银,佟建华,边超,闫桂丽,张虹,夏善红,
来源：第十二届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：2012
本文设计并制备了一种基于钴纳米结构的微电极,并将其应用于水溶液中磷酸根离子浓度的检测.该微电极采用MEMS技术制备,在玻璃表面采用光刻、溅射和剥离技术制备金电极作为基底和导电层,金电极表面使用光刻胶制备绝缘层,暴露出微电极敏感表面,并通过恒电流电镀的......
[期刊论文] 作者：许媛媛,夏善红,边超,刘敬伟,孙红光,陈绍凤,
来源：传感器技术 年份：2005
微电子机械系统(MEMS)技术为生物微传感器和生物芯片的研制以及实现小型化、便携式、低成本,高灵敏度的生化片上系统提供了有力的技术支持。综述了基于MEMS的生物微传感技术,...
[期刊论文] 作者：毋正伟,彭春荣,杨鹏飞,闻小龙,李冰,夏善红,,
来源：电子与信息学报 年份：2015
为了降低传感器的驱动电压,提高该器件的品质因数和信噪比,该文研究封装材料和工艺对真空封装性能的影响,针对一种微机电系统(MEMS)谐振式微型电场敏感结构芯片,采用独特的共...
[期刊论文] 作者：张海岩,彭春荣,刘世国,杨鹏飞,夏善红,,
来源：信息与电子工程 年份：2011
针对微型电场传感器输出信号弱(pA量级)、噪声强等特点,设计了一种新型的传感器微弱信号检测与标定测试系统。该系统采用Labview可视化编程语言,实现传感器的采集控制和信号...
[期刊论文] 作者：彭春荣,刘世国,张海岩,郭鑫,夏善红,,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2010
为了提高传感器的信噪比(signal-to-noise ratio,SNR),降低器件的耦合干扰,基于表面微机械工艺设计制作了一种新型推挽激励方案的谐振式微型静电场传感器.该传感器敏感结构主...
[期刊论文] 作者：汪祖民,韩泾鸿,任振兴,杨海钢,夏善红,,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2006
由于传统参比电极的大尺寸及液接盐桥的存在，限制了ISFET向着小型化、集成化方向发展．研制了一种采用0．35μm标准CMOS工艺制造的，集ISFET／REFET及其信号检测、处理电路于一体的生......
[期刊论文] 作者：杨鹏飞,彭春荣,张海岩,刘世国,夏善红,,
来源：电子与信息学报 年份：2011
该文研制了一种新型的基于SOI(Silicon-On-Insulator)微机械加工技术的高性能电场传感器敏感结构。为提高传感器的灵敏度和信噪比,该器件采用侧面屏蔽感应电极的独特设计方案,降低了传感器屏蔽电极的边缘效应;并基于有限元仿真,进一步优化了传感器敏感结构参数......
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