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[期刊论文] 作者：卢耀文,陈旭,李得天,齐京,刘波,闫睿,查良镇,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2014
为了解决漏率小于10-12Pa·m3/s漏孔的校准问题,提出累积法与固定流导法相结合的方法,研制出下限可达10-14Pa·m3/s量级的校准装置。装置主要由累积比较系统和固定流导法流量...
[期刊论文] 作者：卢耀文,齐京,陈旭,刘志宏,张明志,闫睿,徐天伟,查良镇,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2014
研制出定容法正压漏孔校准装置。采用满量程分别为133 Pa(差压式)、1.33×105Pa(绝压式)的两台高精度电容薄膜真空计测量压力变化,通过全金属密封结构减小定容室漏放气对测量...
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