搜索筛选:
搜索耗时0.0974秒,为你在0篇论文里面共找到 1,620,000篇文章
类      型:
[会议论文] 作者:, 来源: 年份:2004
E1高取向性PZT基陶瓷膜的相结构调控与性能李敬锋,祝志祥;清华大学硅基铁电压电陶瓷膜是MEMS器件的重要结构单元,其制备与表征研究一直倍受关注。压电陶瓷薄膜由于基板约...
相关搜索: