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[期刊论文] 作者：张之航,,
来源：半导体设备 年份：2004
随着自身功能地不断增大,集成电路迅速地渗透到了各个工业领域中,其应用范围也正在向四处扩张。为了适应市场上对集成电路的需要,各集成电路制造厂家便努力发展各种稳定与高...
[期刊论文] 作者：森胁祥修,张之航,,
来源：半导体设备 年份：1983
最近,在制造IC、LSI等半导体元件的精密定位领域中,使用商品化的X-Y工作台的例子正在多起来。大多数这类商品的定位精度为5～10μm。然而,随着半导体元件向高集成化方向急剧地...
[期刊论文] 作者：柳尾淑孝,渡边重行,张之航,,
来源：半导体设备 年份：1981
1.序言编码器作为数字变换器而应用在测长和测角领域中已有十几年的历史。随着测定装置在加工机器中应用地不断扩大,其发展速度和技术上的进步也更加显著。数字控制机床的发...
[期刊论文] 作者：河边清纯,长谷川晴雄,武内垣衣,张之航,,
来源：半导体设备 年份：1983
FA(即工厂自动化)的发展,可以说是集中了过去三十多年自动化技术之大成。当初,人们仅着眼于大批量生产部件的加工自动化、单一化与专用计算机化。在那样的情况下,相对于某一...
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