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[期刊论文] 作者：於俊, 黄天源, 季佩宇, 金成刚, 诸葛兰剑, 吴雪梅,,
来源：科学通报 年份：2017
采用不同比例的N2/Ar螺旋波等离子体（HWP）,对Si表面进行氮化处理合成SiON薄膜.X射线光电子能谱（X-ray photoelectron spectroscopy,XPS）结果显示,SiON薄膜主要由Si–O–N和Si–N...
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