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[会议论文] 作者：天津运输工程学院基础部,于振瑞,Yasuhiro Matsumoto,
来源：中国第六届光伏会议 年份：2000
本文报道一种新的多晶硅(Poly-Si)薄膜材料制备方法-AIC法,研究寝材料的掺杂浓度对晶化效果的影响.结果证明:在250℃下可以在玻璃基底上生长出具有较大晶粒尺寸的薄膜Poly-Si...
[会议论文] 作者：于振瑞,天津运输工程学院基础部,Yasuhiro Matsumoto,
来源：中国第六届光伏会议 年份：2000
本文报道一种新的多晶硅(Poly-Si)薄膜材料制备方法-AIC法,研究寝材料的掺杂浓度对晶化效果的影响.结果证明:在250℃下可以在玻璃基底上生长出具有较大晶粒尺寸的薄膜Poly-Si材料,材料具有较好的电学性能.初始材料的掺杂浓度(B)对晶化效果有较大的影响:随着掺杂......
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