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CMORE MEMS technologies for monolithic integration on CMOS
[会议论文] 作者：SimoneSeveri;, 来源：2011传感器与MEMS技术产业化国际研讨会 年份：2011
　　Recent development of MEMS technologies at IMEC enables the monolithic integration of MEMS on CMOS. This approach represents a potential key advantage for a...
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