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[期刊论文] 作者：Richard S.Muller,吴洪江,,
来源：半导体情报 年份：1990
实验证明可以做出转子直径为0.1mm的电动电机,它为微系统的发展开辟了前景。在用IC工艺做出的材料上形成机械结构,并由此做出精细的器件。这表明,有可能设计出高性能的传感器...
[期刊论文] 作者：D.L.POLLA,RICHARD S.MULLER,RICHARD M.WHITE,石广源,
来源：微电子学与计算机 年份：1990
已制成能同时测量物理和化学变量的多用途集成传感器芯片,该芯片尺寸为8×9mm~2,芯片上除含有作为信号调节、矩阵存取和输出缓冲的常规MOS 器件外还包含下列传感器:气体流量传感器、红外传感器阵列、化学反应传感器、悬臂梁加速计、表面声波蒸汽传感器、触觉传......
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