搜索筛选:
搜索耗时1.1893秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 2 篇相符的论文内容
发布年度:
[期刊论文] 作者：Scott Jansen,Stephen Fox,Glenn Florence,Alexa Perry,,
来源：集成电路应用 年份：2008
基于设计的分级将来自设计数据的版图信息与检测到的每个缺陷的相对位置结合起来,利用这种方法可提高缺陷帕雷托质量。通过对系统缺陷和有害缺陷进行分级,可以改进SEM检测。...
[期刊论文] 作者：Sang Chong,Eric Rying,Alexa Perry,Stephen Lam,Mary Ann St Lawrence,,
来源：电子工业专用设备 年份：2008
描述一种广泛应用于探索制程设计方面的系统性及随机性故障的短流程测试芯片与先进的检测工具平台相结合的综合方法,以对在65nm技术节点上的关键性缺陷进行特征化描述和监控,...
相关搜索：
