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[期刊论文] 作者：ARAI Yoshikazu,高伟,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2004
描述了一种在超精密磨削机床上基于误差分离法的非球面表面形状精密测量系统.首先,论述了一般用于平面形状测量的两点法不能直接用于非球面形状测量的原因在于测头的设置误差...
[期刊论文] 作者：ARAI,Yoshikazu,高伟,Shimizu,Hiro,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2004
描述了一种在超精密磨削机床上基于误差分离法的非球面表面形状精密测量系统.首先,论述了一般用于平面形状测量的两点法不能直接用于非球面形状测量的原因在于测头的设置误差...
[期刊论文] 作者：ARAI Yoshikazu,高伟,Shimizu Hiro,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2004
描述了一种在超精密磨削机床上基于误差分离法的非球面表面形状精密测量系统.首先,论述了一般用于平面形状测量的两点法不能直接用于非球面形状测量的原因在于测头的设置误差...
[期刊论文] 作者：ARAI Yoshikazu,高伟,SHIMIZU Hiroki,KIYONO Satoshi,KURIYAGAWA Tsunemoto,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2004
描述了一种在超精密磨削机床上基于误差分离法的非球面表面形状精密测量系统 .首先 ,论述了一般用于平面形状测量的两点法不能直接用于非球面形状测量的原因在于测头的设置误...
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