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[学位论文] 作者：齐克奇,,
来源：中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所) 年份：2021
航空相机作为航空遥感的重要载荷之一,可以通过可见光、红外以及多光谱等多种成像手段获取地面信息,又由于其机动性好、时效性高、目的性强以及投入较低等优点,被世界各国广...
[期刊论文] 作者：齐克奇,,
来源：长春理工大学学报(自然科学版) 年份：2012
针对光刻物镜波像差检测平台上的针孔定位的需求,设计了一种并联式二维微定位机构,并对该装置的结构特点进行了讨论。该结构具有良好的自解耦功能和较低温度敏感度。并通过有...
[期刊论文] 作者：齐克奇,
来源：光机电信息 年份：2011
不同的投影物镜安装方式对应不同的隔振方式,不同的隔振方式对投影光刻系统的图形传递能力也有较大影响。对两种主要的光刻投影物镜安装方式进行了研究,并对各自特点进行了讨...
[期刊论文] 作者：齐克奇,
来源：法学家 年份：1990
一、案情简介被告人李甲,女,17岁,汉族,系内蒙古某旗农民。被告人李甲于1989年3月30日晚,随其姐姐李乙到本村刘某(系李乙的夫兄)家借用畜力车。李乙对刘说:"大哥,咱妈(指其婆母)给我们一只羊,明天拉到集市上卖几个钱好治病,把你家车借用用呗!"......
[学位论文] 作者：齐克奇,
来源： 年份：2009
履带起重机是广泛应用于国民经济各领域的一种起重设备。随着我国经济建设的发展,对其需求量越来越大,对其性能及起重量的要求也越来越高。但是目前国内履带起重机的开发能力、产品规模和质量都与国外有相当大的差距。本文的研究工作正是为了提高大吨位履带起重......
[期刊论文] 作者：齐克奇,向阳,,
来源：仪器仪表学报 年份：2014
根据用于光刻物镜波像差检测的剪切干涉原理,为了满足可见光原理样机对球面波的需求,设计了一种具有大行程、高精度、可自锁等优点的球面波发生装置.该球面波是通过针孔衍射...
[期刊论文] 作者：齐克奇,向阳,,
来源：光子学报 年份：2012
针对基于剪切干涉原理的光刻投影物镜波像差检测设备中相移测量的需求,设计了一种移相装置.该装置采用了桥式放大机构,获得了较大放大比和相对紧凑的结构,从原理上对桥式放大...
[期刊论文] 作者：方超,向阳,齐克奇,
来源：中国激光 年份：2018
为降低传统光栅横向剪切干涉仪中双方孔空间滤波器带来的加工和装调难度, 设计了一种基于9步式零级相位误差标定的光栅横向剪切干涉测量方法, 只需采用可变空间滤波器即可抑制零级串扰对相移相位复原的影响。针对数值孔径为0.125的投影光刻物镜, 完成了参数设计......
[期刊论文] 作者：于长淞,齐克奇,张春雷,向阳,,
来源：电子测量与仪器学报 年份：2013
基于光栅衍射的横向剪切干涉仪具有很高的检测精度,为满足相移的需要,光栅移相装置需要拥有较大的行程,是干涉仪的关键器件之一。根据干涉仪需求设计了基于柔性铰链及桥式放...
[期刊论文] 作者：齐克奇,向阳,丁亚林,方超,周振平,,
来源：光学精密工程 年份：2017
针对传统串联式微位移机构具有的结构不紧凑和刚度较低等问题,本文设计了一种结构紧凑、具有高分辨率和高刚度的并联式自解耦二自由度微位移平台。该平台采用了4个对称布置的...
[期刊论文] 作者：齐克奇,向阳,丁亚林,方超,周振平,
来源：光学精密工程 年份：2017
针对传统串联式微位移机构具有的结构不紧凑和刚度较低等问题, 本文设计了一种结构紧凑、具有高分辨率和高刚度的并联式自解耦二自由度微位移平台。该平台采用了4个对称布置的嵌套式平行导向机构, 使得平台具有刚度对称和自解耦等特点。本文还对嵌套式平行导向......
[期刊论文] 作者：李华东,齐克奇,石强,王少鑫,王智,,
来源：中国光学 年份：2020
为保证空间惯性传感器的正常在轨运行,在发射阶段需保证测试质量固定以避免与周围电容极板的接触碰撞;到达预定轨道后再重新捕获并以最小残余线速度将测试质量释放至精确位置,保持自由悬浮状态。测试质量的捕获定位对驱动器提出高精度的要求。本文针对在太空中......
[期刊论文] 作者：王少鑫, 齐克奇, 王玉坤, 王智, 陈立恒,,
来源：中国光学 年份：2019
惯性传感器被广泛应用于地球重力场反演、等效原理验证等科学实验中,用来测量空间非保守力作用引起的微小加速度扰动以实现航天器的无拖曳控制。目前国内外正在大力开展的空...
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