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[期刊论文] 作者：黄惠杰,,
来源：桂林师范高等专科学校学报 年份：2009
插图不是教材的附属物,而是教材的重要组成部分,它既是教材内涵的反映,更有它独特的形象性,是一种形象化了的课程资源。运用插图进行教学属于直观教学的一种形式。小学语文教...
[期刊论文] 作者：黄惠杰,,
来源：中医药学报 年份：1989
历代至今对运气“君火相火”及“火虚肿翳”等条文的实质涵义斩多争议,也多附会之说。唯《孙思邈保健著作五种》中关于“君火如日,”相火“如日月乌兔之互藏其体用”的观点是...
[期刊论文] 作者：黄惠杰,
来源：中医药信息 年份：1985
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[期刊论文] 作者：黄惠杰,邹海兴,
来源：光学仪器 年份：1995
根据Mie散射理论和仪器的技术指标，确定了BCJ－1尘埃粒子计数器光学系统的结构型式、参数及像差校正要求；根据仪器的工作特点，确定了光学系统中视杨光阑的最佳形状。更多还原......
[期刊论文] 作者：林栋梁, 张方, 黄惠杰,,
来源：光学精密工程 年份：2018
扫描狭缝是步进扫描光刻机中控制曝光剂量的重要单元,而扫描狭缝产生过大的刀口半影会影响曝光性能。首先,根据步进扫描光刻机照明原理,通过分析掩模面上光强分布与扫描狭缝...
[期刊论文] 作者：何国志,钟谦,黄惠杰,,
来源：广东公安科技 年份：2017
综合运用指掌纹系统及其数据库、现场勘验信息系统、足迹比对系统和DNA数据库系统等信息化手段破获系列入室盗窃案件,为侦技结合提供了新思路。...
[期刊论文] 作者：刘佳红, 张方, 黄惠杰,
来源：激光与光电子学进展 年份：2022
光刻技术是制造集成电路的核心技术，光刻机是制造集成电路的核心设备，照明系统是光刻机的核心部件之一。介绍了深紫外步进扫描投影光刻机照明系统的工作原理，重点分析了光瞳整形技术、光场匀化技术和偏振照明技术，归纳和概述了相关的技术原理和实现方法。......
[期刊论文] 作者：龚爽,杨宝喜,黄惠杰,
来源：中国激光 年份：2020
研究离轴照明的系统中,光学表面环带中频面形误差对于照明光场均匀性和半影宽度的影响.推导了二极照明下中频面形误差的峰谷(PV)值和系统的相干因子对线扩展函数(LSF)分布的...
[期刊论文] 作者：龚爽,杨宝喜,黄惠杰,
来源：光子学报 年份：2022
提出了一种快速计算光学系统像面照度均匀性的算法,通过近似算法计算系统数值孔径,并利用出射光瞳数值孔径表征像面照度.利用该算法计算光场不均匀性,将其作为自动优化过程中的评价函数之一,优化设计光刻机照明系统中继镜组.通过Light tools软件对设计的中继镜......
[期刊论文] 作者：马晓喆,张方,黄惠杰,
来源：中国激光 年份：2021
在28 nm及以下节点光刻机中,平顶高斯照明光场是减小脉冲量化误差对曝光剂量影响的关键技术之一。为降低平顶高斯照明光场产生组件的设计、加工和装调难度,提出一种光刻机照明光场强度分布校正技术。该技术通过较少次数的算法迭代可获得合适的光场校正板透过率......
[期刊论文] 作者：蔡燕民,王向朝,黄惠杰,,
来源：中国激光 年份：2014
一种用于印刷电路板(PCB)的激光直接成像(LDI)光刻设备,需要加工高密度互连(HDI)基板的厚度变化范围为0.025~3mm,为此设计了一种共轭距可变的光刻投影物镜。采用双远心光路结...
[期刊论文] 作者：蔡燕民, 王向朝, 黄惠杰,,
来源：中国激光 年份：2014
ArF光刻机偏振照明系统中需要采用偏振器件(沃拉斯顿棱镜),根据传统技术选用在193nm波长透明材料设计沃拉斯顿棱镜,其分束角较小,或者分束角大时棱镜较长。为了解决这些实际...
[期刊论文] 作者：江晓军,黄惠杰,王向朝,,
来源：电子测量技术 年份：2008
本文介绍一种基于光栅传感器的位移测量仪。它通过硬件电路对2个光栅传感器输出的信号分别进行20细分,然后对细分后的信号分别进行辨向和计数,再使用一个微处理器对辨向信号...
[期刊论文] 作者：郭立萍,黄惠杰,王向朝,
来源：激光杂志 年份：2004
讨论了步进扫描投影光刻机中的曝光剂量控制技术 ,详细阐述了步进扫描投影光刻机中的曝光剂量控制原理 ,提出了一种曝光剂量控制算法。实验表明 ,应用此剂量控制技术使系统的...
[期刊论文] 作者：郭小娴,曾爱军,黄惠杰,
来源：光子学报 年份：2009
基于厚波片平行分束特性,提出了一种分束量可调的等光程平行分束技术,给出透射式和反射式两种平行分束光路.透射式平行分束光路由厚波片和1/2波片组成,反射式平行分束光路由...
[期刊论文] 作者：任冰强, 黄立华, 黄惠杰,,
来源：仪器仪表学报 年份：2009
基于时间分辨荧光免疫分析和免疫层析技术的原理,研制了一种新型的时间分辨荧光免疫分析仪。与现有的时间分辨荧光分析仪不同,它所检测的是以Eu3+离子及其螯合物为标记物的免...
[期刊论文] 作者：郭立萍,黄惠杰,王向朝,,
来源：光子学报 年份：2006
从几何光学角度讨论了积分棒的匀光原理，介绍了积分棒在步进扫描投影光刻系统中的应用,分析了积分棒入射光束的数值孔径对刀口狭缝面上光强分布的影响，得到了积分棒尺寸与刀口......
[期刊论文] 作者：郭立萍,王向朝,黄惠杰,,
来源：光学学报 年份：2006
研究了照明光瞳非对称性对光刻成像质量的影响。通过PROLITH软件计算了环形与四极照明条件下,光瞳非对称性对图形位置偏移量、曝光图形内水平线条与垂直线条的宽度差、曝光图...
[期刊论文] 作者：郭立萍,黄惠杰,王向朝,
来源：激光杂志 年份：2005
本文讨论了光学光刻中的离轴照明技术.主要从改善光刻分辨率、增大焦深、提高空间像对比度等方面对离轴照明与传统照明作了比较,并用Prolith仿真软件进行了模拟分析.研究表明...
[期刊论文] 作者：胡澄,邹丽新,季晶晶,黄惠杰,,
来源：洁净与空调技术 年份：2007
文章介绍了一种智能激光粉尘测试系统的软硬件结构设计,详细给出了系统光学传感器的原理结构及使用方法,传感器非线性信号处理以及系统的数字滤波方案。最后系统测量了苏州大学物理实验中心外距地面约2米的空气中的粉尘相对质量浓度,连续测量36天,并与国家环保......
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