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[会议论文] 作者：吴泽宾,高兆艳,陈喜亚,郇庆,高鸿钧,
来源：中国真空学会2016学术年会 年份：2016
本海报介绍了一套光学兼容的超高真空扫描探针显微镜(SPM)系统的设计和搭建.整套系统由5 个腔室组成，结构紧凑、功能完善，可完成从样品/针尖的快速装载、样品/针尖的退火及离子束轰击清理、金属及有机材料的分子束外延(MBE)生长，以及原位STM/AFM 表征.由两个操作台......
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