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[期刊论文] 作者：杨少华,马炳和,,
来源：仪表技术与传感器 年份：2011
微型热敏剪应力传感器在航空航天等领域有重要应用价值,然而基于热敏感原理的间接剪应力测量会引入流体环境温度的影响。结合热敏剪应力传感器的热交换模型,研究了流体环境温度变化的影响机理。分析了常用温度修正方法的应用局限性,设计了结合流体温度、从信号......
[期刊论文] 作者：徐平原,马炳和,
来源：杭州电子科技大学学报 年份：2005
介绍了一种相对相移固定的全通网络应用设计的原理、方法和步骤,根据作出的相对相移特性图进而获得的设计结果,可以满足工程应用的要求.同时介绍了这种全通网络在相位合成中...
[期刊论文] 作者：徐媛媛,马炳和,,
来源：机电工程 年份：2012
为降低飞行器翼面压力检测系统对气动分布的影响,并实现翼面任意位置的压力检测,设计了一种基于CAN总线的翼面压力分布式测量系统。利用微机电系统压力传感器测量翼面压力,并...
[期刊论文] 作者：马炳和,李铁军,
来源：西北工业大学学报 年份：2000
与传统的投影曝光微细加工方法相比，激光直写具有高柔性、低成本和胜任三维微型结构加工的优点。采用非稳腔的聚焦准分子激光（ＫｒＦ，λ＝２４８ｎｍ）对单晶硅材料进行直接刻蚀，从微结构刻蚀的形状尺......
[期刊论文] 作者：李晓莹,马炳和,
来源：航空制造技术 年份：2000
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[期刊论文] 作者：高洁,马炳和,叶芳,
来源：微纳电子技术 年份：2014
研究了聚一氯对二甲苯(parylene-C,PC)膜微柱阵列结构的制备及其对MC3T3-E1小鼠成骨细胞生长铺展的影响.在硅基微柱阵列结构表面上沉积聚对二甲苯得到的PC膜微柱阵列结构能促...
[期刊论文] 作者：赵建国,马炳和,邓进军,,
来源：微纳电子技术 年份：2009
阐述了壁面剪应力测量原理及其需求。以Ni为热敏材料、聚酰亚胺为衬底,采用MEMS微加工工艺制作了一种用于近壁传热及流动参数分布测量的全柔性热敏传感器阵列。该传感器阵列的尺寸微小、集成度高、柔性可弯,可用于弯曲壁面剪应力大小与分布测量。针对柔性热敏传......
[期刊论文] 作者：任卫,马炳和,吕海峰,,
来源：微纳电子技术 年份：2009
围绕微型压力传感器的动态性能对压力敏感结构设计进行了研究。结合有限元分析,掌握了压阻式微型压力传感器的膜片形状、膜厚、膜片平面尺寸对于固有频率、灵敏度的影响规律,明确了固有频率、灵敏度与敏感结构形状尺寸间的关系。结合研发实例,利用时域暂态有限......
[期刊论文] 作者：马炳和,王辉,苑伟政,,
来源：中国机械工程 年份：2010
提出了一种基于结构组件库的MEMS概念设计方法。给出了结构组件的表征形式，探讨了基于功能分解的结构组件模型获取方法，借以形成支持概念设计的结构组件模型库。阐明了MEMS概念......
[期刊论文] 作者：霍鹏飞,马炳和,苑伟政,
来源：航空学报 年份：2003
提出多端口组件网络方法对MEMS进行建模与仿真,建立了惯导MEMS典型功能结构部件的参数化多端口组件模型,联结组件模型形成网络构建了蟹腿式微加速度计的系统模型.用硬件描述...
[期刊论文] 作者：霍鹏飞,苑伟政,马炳和,
来源：西北工业大学学报 年份：2004
阐述了基于多端口组件网络的MEMS建模方法--把MEMS器件分割为多个功能结构部件,并建立其参数化多端口组件模型,通过组件端口的相互联结形成的网络表征整个MEMS器件.根据物体...
[期刊论文] 作者：霍鹏飞,马炳和,苑伟政,
来源：机械科学与技术 年份：2005
以多端口组件及其网络的研究作为理论基础,创建了专门针对MEMS的系统级建模方法--用单个组件表示MEMS的各功能结构部件,组件的端口表征与部件有关的各种物理量,依据一定规则...
[期刊论文] 作者：苑伟政,马炳和,张春江,
来源：仪器仪表学报 年份：1996
利用电流变液体的电压－粘性－刚性特性设计的柔性微执行器，具有可控性好、易于操作等特点。本文介绍了电流变液体柔性微执行器的操纵机制．讨论了控制电压与柔性微执行器单元的位移......
[期刊论文] 作者：符强,马炳和,常洪龙,,
来源：仪表技术与传感器 年份：2009
微机械加速度计的输出受到环境温度的影响。文中以姿态参照系统为例，通过温度实验，得到了姿态参照系统中的微机械加速度计在不同温度下的输出，通过数据拟合建立了静态温度模型，对......
[期刊论文] 作者：马炳和,霍鹏飞,苑伟政,
来源：微纳电子技术 年份：2003
MEMS的系统级设计对保证其整体综合性能和合理开发MEMS产品至关重要.针对MEMS的多能量域耦合、多信号混合的特点以及能量非保守等特殊要求,提出了基于多端口组件网络的MEMS系...
[期刊论文] 作者：钟军威,李晓莹,马炳和,,
来源：计算机测量与控制 年份：2006
针对微型热膜传感器阵列用于边界层分离点检测，设计多路恒流源驱动电路、滤波检测电路，并以DSP为核心器件设计动态数据采集系统；根据边界层分离特性，采用FFT算法进行分离点位置判......
[期刊论文] 作者：徐延光,马炳和,邓进军,,
来源：半导体技术 年份：2009
利用Ni材料的高电阻温度系数特性,结合MEMS微加工技术,研究开发了全柔性的Ni基热敏传感器及其阵列。对传感器阵列的材料选择、Ni薄膜电阻的特点以及制备工艺进行了研究。通过油浴升温和电流阶跃响应方法实现了对传感器重要静态、动态参数的测量。实验结果表明,......
[期刊论文] 作者：苑伟政,马炳和,毛竹群,
来源：航空精密制造技术 年份：2000
从微型飞机的概念出发．对基于MEMS的微型飞机及其相应的能源系统，动力系统，空气动力学特性，导航系统以及有效负载，部件的集成等关键技术及可行性做了较详细的讨论．并提出了相关问题......
[期刊论文] 作者：耿俊浩, 田锡天, 马炳和,,
来源：高等工程教育研究 年份：2018
工程教育专业认证标准虽较清晰地反映出工业界对工程人才实践能力的需求,但学生能力得到有效锻炼依赖于对工程教育中间环节的精心设计。为提升面向工业界需求的工程专业人才...
[期刊论文] 作者：李晓莹,马炳和,苑伟政,
来源：航空精密制造技术 年份：1998
针对微机械结构加工特点及其对相应测量技术所提出的特殊要求，运用光切法对三维微结构尺寸测量（尤其是高度尺寸）进行了实验研究和理论分析，阐明了其可行性与潜在优势。...
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