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[期刊论文] 作者：陈华男,王君林,刘健,,
来源：光子学报 年份：2013
超光滑加工通常是在保证光学元件面型精度不劣化前提下提升其中高频精度.均匀去除是保证超光滑加工过程中光学元件面型精度不劣化的重要途径.本文以四轴三联动小磨头超光滑加...
[期刊论文] 作者：陈华男, 李显凌, 孙振,,
来源：真空 年份：2013
为了在光学加工中快速、可靠地装夹光学元件,设计了真空夹具,对该真空夹具引起光学元件变形量进行了分析。首先,根据光学加工对夹具的要求,应用手动静压快速夹头以及传统真空...
[期刊论文] 作者：尚红波, 刘春来, 张巍, 陈华男,,
来源：光学学报 年份：2015
为了实现高成像要求,投影光刻物镜在设计时需要考虑膜层偏振效应的影响,并进行相应的分析和评价。首先介绍了基于琼斯矩阵的偏振像差理论,然后以一个数值孔径(NA)为0.75的投...
[期刊论文] 作者：陈华男,王君林,李显凌,王绍治,,
来源：光子学报 年份：2013
在Preston假设基础上,研究并推导了光学元件抛光过程中＂花瓣＂型截面磨头在双转子运动形式下的去除函数.提出了＂花瓣＂型截面磨头的离散点弧长表达方法,并讨论了该方法的适用范围;......
[期刊论文] 作者：王绍治,刘健,张玲花,陈华男,,
来源：电子测量与仪器学报 年份：2013
为了满足足式机器人动态性能与环境适应性的要求,将测力元件与弹性元件相结合,提出了一种可用于机器人足部的柔性传感装置。通过对其力学模型的分析,给出了三维力/力矩计算与底面倾角估算方法。同时针对装置要求,完成了基于ARM的检测系统的软硬件设计与实现方案......
[期刊论文] 作者：郭抗,陈华男,倪明阳,李显凌,
来源：光学学报 年份：2014
在保证光学元件极高面形精度和极高调节精度的同时，为了实现更大的调节行程，采用柔性环片结构，设计了一种光学元件轴向精密调节机构。建立了调节机构的有限元分析模型，分析了主要设计参数对调节机构的调节行程、应力值、固有频率、光学元件上下表面面形均方根(RMS)......
[会议论文] 作者：郭抗,倪明阳,孙振,陈华男,王东平,
来源：2015年光学精密工程论坛 年份：2015
针对并联机构中常用的柔性铰链一般需要在多个方向上加工,难以实现与机构一体化的问题,提出了一种减薄的直圆型柔性铰链.该铰链具有三个转动自由度,仅需在一个方向上即可完成加工,便于应用于结构一体化的定位机构中.根据卡氏第二定理,推导了减薄直圆型柔性铰链......
[期刊论文] 作者：陈华男,郭抗,张玲花,刘健,尚红波,,
来源：光电工程 年份：2015
X-Y向柔性调节机构应用于光刻投影物镜中光学元件X-Y方向偏心位置补偿。基于柔性铰链，设计柔性二级减速机构，并将之应用到新型的一体式X-Y向柔性调节机构上。在对机构原理进行...
[期刊论文] 作者：董世则,郭抗,李显凌,陈华男,张德福,,
来源：中国光学 年份：2017
设计了一种狭缝柔性结构的光学元件调节机构,使光学元件在具备较高调节精度的同时,保持较高的导向精度。采用弹性力学应力函数法分析了狭缝柔性结构的刚度,以径向刚度与轴向...
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