搜索筛选:
搜索耗时0.5500秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 86 篇相符的论文内容
发布年度:
[期刊论文] 作者：高昕, 邢廷文,,
来源：光电工程 年份：2004
靶场观测中存在大量不发光和表面温度接近常温的低温目标,根据它们的光谱辐射特性、背景辐射特性和大气透过率与目标距离的关系,分别选择了中波和长波红外探测器对降落伞进行...
[期刊论文] 作者：周超,邢廷文,,
来源：光电工程 年份：2016
折反式深紫外光刻物镜采用反射镜为主动自由曲面，补偿系统热像差。一些物镜系统要求反射镜的通光孔径为矩形。出于描述反射镜主动变形的目的，需要采用矩形区域正交的多项式拟合......
[期刊论文] 作者：曾立,邢廷文,,
来源：微计算机信息 年份：2010
介绍了一种基于FPGA的线阵CCD信号驱动、采集、存储系统。重点阐述硬件组成、FPGA内部各逻辑模块的设计、系统接口以及后端控制系统的软件设计流程。为各种使用线阵CCD的设备...
[期刊论文] 作者：杨雄,邢廷文,
来源：光学学报 年份：2004
极紫外投影光刻用14 nm波长的电磁辐射,可以在实现高分辨率的同时保持相对较大的焦深,有希望成为制造超大规模集成电路的下一代光刻技术.极紫外投影光刻工作于步进扫描方式,...
[期刊论文] 作者：李云,邢廷文,,
来源：光学学报 年份：2012
在离子束抛光工艺中,为了提高驻留时间求解算法在工件边缘处的求解精度,通常需要对原始面形误差数据进行边缘虚拟延展。要求原始面形误差数据与虚拟延展面光滑拼接,并在延展...
[期刊论文] 作者：江海波,邢廷文,,
来源：激光与光电子学进展 年份：2015
离轴照明(OAI)作为一种重要的分辨力增强技术(RET),不仅可以提高光刻分辨力,而且对焦深(DOF)也有一定程度的改善。针对特定的掩模图形,采用何种离轴照明模式能最大程度地改善...
[期刊论文] 作者：黄智强,邢廷文,,
来源：光电工程 年份：2006
阐述了消杂光的遮光罩和挡光环的设计原理和思想，并基于自行推导的设计公式，提出利用程序计算来实现遮光罩一挡光环四种不同组合（圆柱状且挡光环等高布置、圆柱状且挡光环梯度布......
[期刊论文] 作者：李华,邢廷文,马文礼,
来源：光电工程 年份：2002
研究和设计了测量波长范围在10(m(120(m的远红外光谱仪,它以光栅作为分光元件,利用光栅的衍射特性测量自由电子激光的光谱分布,给出了实用化的测量公式,并对光谱仪进行了标定...
[期刊论文] 作者：刘勇, 邢廷文, 杨雄,,
来源：光电工程 年份：2011
光刻设备的分辨率越来越高,以满足集成电路特征尺寸不断缩小的要求。根据瑞利判据,可以通过缩小曝光波长和工艺因子、增大数值孔径来提升光学投影光刻的分辨率。随着数值孔径...
[期刊论文] 作者：许嘉俊,邢廷文,
来源：光电工程 年份：2013
干涉仪是光学元件面形加工中必不可少的检测设备，其检测精度限制了光学面形的加工精度。点衍射干涉仪利用亚微米量级的针孔衍射产生参考波，理论上的检测精度能够达到纳米及纳米......
[期刊论文] 作者：马燕春,邢廷文,
来源：光电工程 年份：2004
提出在非扫描工作方式下获得二维分布的多个点目标辐射谱的方法。该方法与其他成像光谱技术最显著的区别在于其光学系统的设计及数字微镜的使用。通过数字微镜进行目标选通,...
[期刊论文] 作者：马文礼,邢廷文,李华,
来源：光电工程 年份：2004
采用平面闪耀光栅作为光谱元件的远红外光谱测量原理,分析了四种主要的重复性误差:光栅常数制造误差、零点标定误差、转角测量误差、入射光束与衍射光束的夹角测量误差. 并分...
[期刊论文] 作者：徐富超,邢廷文,,
来源：激光与光电子学进展 年份：2011
移相干涉技术是高精度面形检测的主要手段之一,但当图像中含有大噪声和大块无效区域时,解包却是一个难题。将噪声点分为残差点和不连续点,对残差点采用三点邻域的组合对其进行判定,对不连续点在解包前后进行两次标记,并在解包后利用邻域有效点的均值来复原噪声......
[期刊论文] 作者：白瑜, 邢廷文, 蒋亚东,,
来源：光谱学与光谱分析 年份：2014
相比红外光谱定焦成像系统和红外光谱两档成像系统而言,红外光谱连续变焦成像系统具有连续变化的视场,可对目标进行连续成像,是未来红外光谱成像技术的发展方向。为了提高红...
[期刊论文] 作者：龙波,邢廷文,廖胜,,
来源：红外与激光工程 年份：2014
为了提高结构刚度,利用ANSYS的APDL语言对外径Φ95 mm的一体式3翼次镜支架进行了参数化建模,以基频为目标函数,对构成支架翼形的梁杆和接杆的截面参数进行了优化。优化结果表...
[期刊论文] 作者：龙波, 邢廷文, 廖胜,,
来源：光电工程 年份：2014
单点金刚石车削(SPDT)技术的发展为铝镜的批量化生产和应用奠定了工艺和技术基础。为减小安装预紧力、安装面不平引起的镜面变形从而保证光学像质,总结了典型的铝镜消应力支...
[期刊论文] 作者：冯婕, 白瑜, 邢廷文,,
来源：光电技术应用 年份：2011
光学表面检测的绝大多数情况中,被测光学表面或光学系统的出射波面总是趋于光滑且连续的,这样的波面函数一定可以表示成一个完备的基底函数的线性组合。因此常用Zernike多项...
[期刊论文] 作者：邢廷文,何国良,舒亮,,
来源：光电工程 年份：2009
为了提高移相点衍射干涉仪对193nm投影光刻系统的检测精度,本文对其主要测量误差进行了探讨。在简要介绍了193nm移相点衍射干涉仪的基本结构和测量原理之后,总结了可能对测量...
[期刊论文] 作者：冯婕, 邓超, 邢廷文,,
来源：激光与光电子学进展 年份：2012
为实现非球面元件表面面形的高精度检测,提出并设计了一种兼具相位补偿、装调计算全息图(CGH)和待测非球面的多功能计算全息图。多功能计算全息图由主全息、对准全息和基准全...
[期刊论文] 作者：舒亮,邢廷文,何国良,,
来源：光学仪器 年份：2009
介绍了基于点衍射干涉仪的环形子孔径拼接检测非球面的理论和方法，分析了其基本原理，相对传统非球面检测方法，这种方法可以有效避免高精度补偿器件的使用，它通过不同曲率半径的球......
相关搜索：
