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[会议论文] 作者：邓建伟;田灿鑫;黎明;何俊;刘传胜;付德君;,
来源：中国核学会2009年学术年会 年份：2009
设计了一套电子源辅助中频孪生非平衡磁控溅射装置,在单晶硅、高速钢、硬质合金衬底上制备了CrN和CrTiAlN薄膜,研究了气体流量、衬底偏压、溅射功率对薄膜结构和性能的影响.(...
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