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[期刊论文] 作者:郑子尧,王柱,李春领,赵青楠, 来源:半导体光电 年份:2005
用直流反应磁控溅射法在玻璃基片上,在不同氧分压条件下制备了一组TiO2低辐射薄膜样品.用原子力显微镜(AFM)观察了不同制备条件下得到的TiO2薄膜样品的表面形貌,并测量了它们...
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