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[期刊论文] 作者：宋文超, 李家明, 贾祥晨, 刘广杰, 王洪建,
来源：电子工业专用设备 年份：2022
简述了集成电路制造中的湿法工艺，重点介绍了栅氧清洗、RCA清洗、去胶、氮化硅去除、氧化硅腐蚀等湿法工艺，并对槽式湿法设备的关键制造技术进行了讲解。...
[期刊论文] 作者：宋文超, 贾祥晨, 李家明, 王洪建, 刘广杰,
来源：电子工业专用设备 年份：2022
简述了SiC功率器件制造工艺流程，对常用的抛光片清洗、RCA清洗、SPM湿法去胶、有机去胶、SiO2腐蚀、金属腐蚀和金属剥离等湿法设备进行了应用研究，对于提升SiC功率器件成品率起着重要的作用。......
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