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[学位论文] 作者：谷昊周,
来源：杭州电子科技大学 年份：2022
目前用于制备高品质金刚石薄膜的一个重要方法就是微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）技术,该技术在金刚石膜沉积过程中高度可控,并且这种方法制备的金刚石膜具有品质优异、包裹体少等优点。该技术最为关键的部分是设计微波谐振腔。为探究该设计流程开展了关于数值......
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