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[会议论文] 作者：谭明;曹猛;梁金岭;邓湘云;李德军;,
来源：二〇〇八全国功能材料科技与产业高层论坛 年份：2008
本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)在室温下制备了ZrB2、AlN和一系列zrB2/AlN纳米多层膜,利用XRD、XP-2台阶仪、纳米力学测试系统表征了薄膜的微结构和机械性能,分析了...
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