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[学位论文] 作者:裘安萍, 来源:东南大学 年份:2001
硅微型机械振动陀螺仪是用于角速率检测的一类新型传感器。由于目前市场对低成本、高可靠性以及微型化的角速率传感器需求,因此硅微型机械陀螺仪已成为MEMS器件中一个倍受关注......
[学位论文] 作者:裘安萍, 来源:东南大学 年份:1998
该文应用陀螺仪基本理论及微电子技术,对硅微机械陀螺仪工作机理进行了全面深入的研究.在此基础上,依据欧拉动力学议程式,推导出改进型双框架式角振动陀螺仪的运动方程式;运...
[期刊论文] 作者:裘安萍,苏岩,, 来源:中国机械工程 年份:2006
对空气阻尼进行定性和定量分析是MEMS器件设计中非常重要的一个步骤,直接影响MEMS器件的动态性能。研究了第三个区域中振动轮式微机械陀螺仪的滑膜阻尼,提出了滑膜阻尼模型,分析......
[会议论文] 作者:裘安萍,苏岩, 来源:2005’全国船舶仪器仪表学术年会 年份:2005
论文提出了一种采用微杠杆结构进行惯性力放大的硅微振梁式加速度传感器结构,阐述了其工作机理.在此基础上,讨论了两种不同的支点形式,分别推导了这两种结构形式的放大倍数计...
[会议论文] 作者:苏岩,裘安萍, 来源:中国造船工程学会2006年船舶通讯导航学术会议 年份:2006
针对军事应用,介绍了国际上较高性能的微机械陀螺仪、微机械加速度计的研究进展和成果.在此基础上,分析了国外MEMS惯性技术的发展趋势....
[期刊论文] 作者:石然,裘安萍,苏岩,, 来源:光学精密工程 年份:2010
为了提高硅微谐振式加速度计性能,从一种基于DDSOG(Deep Dry Silicon on Glass)工艺的硅微谐振式加速度计样机入手,介绍了加速度计的结构、加工方法和接口电路。该谐振式加速...
[期刊论文] 作者:裘安萍,董金虎,, 来源:纳米技术与精密工程 年份:2012
零偏和标度因数稳定性是衡量加速度计性能的两个重要参数.为了降低硅微谐振式加速度计的温度敏感性,对其温度影响机理进行了深入研究.通过温度实验发现,硅微谐振式加速度计的...
[期刊论文] 作者:蔡体菁,裘安萍, 来源:东南大学学报:自然科学版 年份:1999
给出了内框驱动、外框敏感、电容检测的微型双框架角振动陀螺仪的运动方程和其运动规律,分析了该陀螺仪的原理及结构误差。...
[期刊论文] 作者:裘安萍,王寿荣, 来源:仪表技术与传感器 年份:1999
文中介绍了扭摆式硅微加速度计的结构原理和对其进行最大灵敏度优化设计的方法,计算结果表明,对硅微速度计的结构参数进行优化,可以最大限度地提高传感器的性能。...
[期刊论文] 作者:裘安萍,蔡体菁, 来源:传感技术学报 年份:2000
本文简单介绍了硅微机械振动轮陀螺仪的工作原理,并给出了该陀螺仪的非线性运动方程和线性化运动方程.针对该陀螺仪的运动方程,进行了数值仿真研究.根据数值仿真结果,还提出为了提......
[期刊论文] 作者:裘安萍,苏岩,周百令, 来源:中国惯性技术学报 年份:2000
提出了一种基于隧道效应的微机械角速率传感器的设计方案,还针对隧穿检测和电容检测进行了比较。并指出基于隧道效应的微机械角速率传感器将极大提高传感器的灵敏度。...
[期刊论文] 作者:裘安萍,蔡体菁,等, 来源:东南大学学报:自然科学版 年份:2000
粘滞阻尼的研究对硅微机械振动陀螺仪的设计至关重要。而品质因数的大小反映了阻尼特性。本文首先理论分析了硅微型机构振动陀螺仪粘滞阻尼的耗能,然后根据耗能分析给出了驱动......
[期刊论文] 作者:赵阳, 夏国明, 施芹, 裘安萍,, 来源:光学精密工程 年份:2018
为了抑制相敏解调引入的闪频(1/f)噪声,实现硅微陀螺仪的高精度片上数字化输出,设计了一种基于sigma-delta模数转换器的相敏解调ASIC。首先,提出了一种量化硅微陀螺仪驱动及...
[期刊论文] 作者:杨亮, 苏岩, 裘安萍, 夏国明,, 来源:光学精密工程 年份:2014
提出了具有增益补偿功能的数字化驱动闭环方法,以便提高微机械陀螺标度因数的稳定性。介绍了微机械陀螺的工作原理,对其运动方程的分析显示:为了提高标度因数的稳定性,需要提高陀......
[期刊论文] 作者:杨亮,苏岩,裘安萍,夏国明, 来源:光学精密工程 年份:2013
通过研究脉冲密度反馈力对微机械陀螺性能的影响,设计了基于机电结合∑△调制器原理的微机械陀螺检测闭环电路.首先,根据微机械陀螺敏感模态的等效形式,分析得出脉冲密度反馈...
[期刊论文] 作者:杨亮,苏岩,裘安萍,夏国明,, 来源:光学精密工程 年份:2013
建立了以微机械陀螺驱动模态固有频率为虚拟温度传感器的温度补偿系统,以实现对微机械陀螺标度因数和零偏的高精度温度补偿.研究了自主设计的微机械陀螺的驱动模态固有频率的...
[期刊论文] 作者:裘安萍,庄瑞芬,施芹,, 来源:中国惯性技术学报 年份:2009
硅微谐振式加速度计以易于检测的准数字信号作为输出,是微传感器的一个研究热点。提出一种基于一级微杠杆放大机构和DETF谐振器的硅微谐振式加速度计的结构设计,在分析工作机理......
[期刊论文] 作者:赵阳,裘安萍,施芹,赵健,, 来源:光学精密工程 年份:2013
为了进一步提高微机械陀螺的极限分辨率,建立了基于SOI工艺的微机械陀螺的检测接口模型,并设计了与之相匹配的前置接口放大器。首先,根据陀螺表头的实际结构建立了微机械陀螺...
[期刊论文] 作者:谢明媚,裘安萍,王寿荣, 来源:微纳电子技术 年份:2003
分析了双线振动式陀螺仪在驱动模态和检测模态的振动方程及刚度,提出用方波梁代替直梁以减小加工应力对陀螺仪谐振频率的影响.并用ANSYS分析软件对驱动谐振频率进行仿真,验证...
[期刊论文] 作者:凤瑞,裘安萍,施芹,苏岩,, 来源:南京理工大学学报 年份:2013
为提高双质量硅微机械陀螺温度特性,该文对陀螺固有频率进行了温度特性研究.分别对杨氏模量温度系数、热应力和材料的热膨胀系数三种因素导致的陀螺固有频率随温度变化特性进...
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