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[学位论文] 作者：董世则,
来源：中国科学院大学 年份：2017
光刻投影物镜作为光刻机的核心部件,投影物镜的发展就代表着光刻技术的发展。投影物镜发展的主要特征是视场越来越大,分辨率越来越高,镜片数越来越多,当然系统也越来越复杂。...
[期刊论文] 作者：董世则,郭抗,李显凌,陈华男,张德福,,
来源：中国光学 年份：2017
设计了一种狭缝柔性结构的光学元件调节机构,使光学元件在具备较高调节精度的同时,保持较高的导向精度。采用弹性力学应力函数法分析了狭缝柔性结构的刚度,以径向刚度与轴向...
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