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[学位论文] 作者:祁晓瑾,, 来源: 年份:2007
MEMS高g值加速度传感器是MEMS技术应用于引信侵彻过程惯性测试与控制的关键之一。本课题的主要任务是研制基于武器弹药系统高过载侵彻过程的引信用MEMS加速度传感器,主要技术...
[期刊论文] 作者:祁晓瑾, 金玉才, 孙俊,, 来源:中医临床研究 年份:2019
目的:用Meta分析的方法对国内外已公开发表的有关中医药联合西医常规疗法治疗有机磷中毒疗效的研究进行系统评价,期待为临床治疗有机磷中毒选择方案提供参考依据。方法:收集...
[期刊论文] 作者:石云波,祁晓瑾,刘俊,, 来源:半导体技术 年份:2006
根据引信环境信息探测的要求,设计了一种新型MEMS高g值压阻式加速度传感器敏感元件。通过ANSYS仿真对该结构进行了量程分析、抗过载分析、灵敏度分析及横向灵敏度分析,提供了一......
[期刊论文] 作者:祁晓瑾,刘俊,石云波,, 来源:传感器与微系统 年份:2006
设计了一种新型四梁压阻式MEMS高gn(gn=9.8m/s^2)值加速度计,其量程为0~150000gn,抗冲击200000gn,横向灵敏度小于6%。根据设计指标及强度条件对结构参数进行了优化设计,并进行应力分析......
[期刊论文] 作者:SHI Yun-bo,祁晓瑾,LIU Jun,孟美玉, 来源:系统仿真学报 年份:2008
针对特殊场合的测试需求,设计了四端全固支的高g值梁岛结构加速度传感器,结构中采用在质量块背部KOH腐蚀的方法,减轻质量块质量,且减小质量块质心与梁中心面的相对距离.利用...
[期刊论文] 作者:石云波,祁晓瑾,刘俊,孟美玉,, 来源:机械工程学报 年份:2008
针对特殊场合的测试要求,设计了四端全固支的高过载梁岛结构加速度传感器,结构中采用在质量块背部氢氧化钾腐蚀的方法,减小质量块的质量,及其与梁中性面的相对距离,使梁岛式...
[期刊论文] 作者:孟美玉,石云波,刘俊,祁晓瑾,, 来源:传感技术学报 年份:2008
针对侵彻过程中传感器过载失效的问题,提出了一种四边四梁结构的高g压阻加速度传感器。该结构采用硅玻键合技术控制质量块下底面到玻璃底盖的间距为5μm,为系统提供空气阻尼...
[期刊论文] 作者:石云波,祁晓瑾,刘俊,孟美玉,, 来源:系统仿真学报 年份:2008
针对特殊场合的测试需求,设计了四端全固支的高g值梁岛结构加速度传感器,结构中采用在质量块背部KOH腐蚀的方法,减轻质量块质量,且减小质量块质心与梁中心面的相对距离。利用...
[会议论文] 作者:张琼;石云波;祁晓瑾;李珺泓;刘俊;, 来源:中国兵工学会第十四届测试技术年会暨中国高等教育学会第二届仪器科学及测控技术年会 年份:2008
本文以一种自制的四梁结构压阻式高g值MEMS加速度传感器芯片的封装为研究对象,从模态及静态角度分析了封装对高g值加速度计的影响,并对封装过程中芯片粘结工艺产生的残余应力进......
[期刊论文] 作者:金玉才,丁翔,陈顺荣,祁晓瑾,苏保谦,孙俊, 来源:中医临床研究 年份:2019
目的:分析苏保谦名中医治疗咳嗽病的用药规律,为咳嗽病的中医治疗提供临床经验。方法:选取苏保谦名中医治疗咳嗽病病例241诊次,采集苏保谦名中医对入选患者开具的中药处方,并...
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