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[学位论文] 作者:王钻开,, 来源:中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) 年份:2003
随着科技的发展,加速度传感器在工业应用中越來越得到广泛应用,比如设备的振动检测。传统的传感器往往很难满足上述要求,而微电子和微机械加工紧密结合的MEMS加速度传感器已经显......
[会议论文] 作者:王钻开, 来源:2015中国力学大会 年份:2015
[期刊论文] 作者:王钻开, 来源:表面技术 年份:2021
人们对自然生物机理认知的逐步深入和微纳加工技术的进步,仿生材料的发展将材向了新高度.如何运用仿生策略简单高效地设计和制造出结构功能一体化的智能仿面,使其足以应对多物理场耦合的复杂工作环境是当前研究的重点和难点问题,而难题的关键在于要明晰生物材料......
[期刊论文] 作者:王钻开, 来源:光学与光电技术 年份:2021
五大创新浪潮标志着人类的进步。每一波浪潮都改变了我们的行业和社会,同时也伴随着资源消耗、污染和能源、水资源短缺。相比之下,经过数十亿年的发展,自然界已经形成了以绿色能量和复原力为特征的非凡原则。重点阐述了在水资源、能源和健康工程等方面,以仿生工程为......
[期刊论文] 作者:李京,王钻开(指导), 来源:金属加工:冷加工 年份:2020
液滴的定向输运不仅构成了各个自然系统的基础,同时在很多工业应用中起着决定作用。这是因为,有效的液滴输运能够从根本上改变固/液/气三相界面之间的交互作用,从而促进质量...
[期刊论文] 作者:刘亚华,王钻开,, 来源:机械工程学报 年份:2017
自然界中,超疏水表面由于其特殊的润湿性而受到极大的关注。此类表面广泛存在于植物叶子、昆虫翅膀、鸟类羽毛及动物皮毛之中,其拥有较大的接触角和较小的滞后角。液滴能够在超......
[期刊论文] 作者:王钻开,陆德仁, 来源:功能材料与器件学报 年份:2003
研究了硅微机械高g(g为重力加速度)加速度传感器的固有频率和阻尼特性对冲击响应的影响。传感器固有频率低,阻尼小时,冲击加速度的响应波形包含传感器共振波,造成测量干扰。采用有适当阻尼,固有频率高的双质量块结构高g加速度传感器,进行接近2万g加速度峰值的一......
[期刊论文] 作者:李亚楠,Shuo-ran CHEN,王钻开, 来源:表面技术 年份:2021
Traditional cooling systems have been posing a significant challenge to the global energy crisis and climate change due to the high energy consumption of the cooling process. In recent years, the emerging daytime radiative cooling provides ......
[期刊论文] 作者:王钻开,宗登刚,陆德仁, 来源:机械强度 年份:2002
提出一种计算加速度计灵敏度和频率的改进方法.该方法在计算微结构的灵敏度和频率时考虑质量块的变形及梁的质量.得到的结果表明,当梁与质量块的厚度比变得较大时,梁的上表面...
[期刊论文] 作者:宗登刚,王钻开,陆德仁,王聪和, 来源:机械强度 年份:2003
用微机械悬桥法研究低应力氮化硅薄膜的力学性能.对符合弹性验则的微桥进行测试,在考虑衬底变形的基础上,利用最小二乘法对其载荷-挠度曲线进行拟合,得到低应力low pressure...
[期刊论文] 作者:宗登刚,王钻开,陆德仁,王聪和,陈刚, 来源:功能材料与器件学报 年份:2003
利用高精密纳米压入仪检测微机械悬桥的载荷-挠度曲线,来研究低应力LPCVD氮化硅薄膜的力学特性。通过大挠度理论分析,得到考虑了衬底变形对挠度有贡献的微桥挠度解析表达式。...
[期刊论文] 作者:郇勇,张泰华,杨业敏,王钻开,陆德仁, 来源:传感器技术 年份:2003
采用体硅微机械加工技术和扩散技术,制作压阻式高量程微加速度计,设计量程为50000gn.芯片材料为单晶硅,采用双列扁平陶瓷封装.为了测量其动态灵敏度,使用Hopkinson杆在约4000...
[会议论文] 作者:宗登刚,王聪和,王钻开,鲍海飞,陆德仁, 来源:第八届敏感元件与传感器学术会议 年份:2003
介绍了用高精密纳米压入仪检测微机械悬桥的载荷-挠度曲线,来研究LPCVD氮化硅薄膜的力学特性.通过大挠度理论分析,得到考虑了衬底变形的微桥挠度解析表达式.对于在加卸载过程中表现出完全弹性的微桥,利用最小二乘法对其挠度进行了拟合,从而得到杨氏模量、残余应......
[会议论文] 作者:宗登刚[1]王聪和[2]王钻开[3]鲍海飞[3]陆德仁[3], 来源:第八届敏感元件与传感器学术会议 年份:2003
介绍了用高精密纳米压入仪检测微机械悬桥的载荷-挠度曲线,来研究LPCVD氮化硅薄膜的力学特性.通过大挠度理论分析,得到考虑了衬底变形的微桥挠度解析表达式.对于在加卸载过程...
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