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[会议论文] 作者：王巍[1]吴志刚[2]兰中文[3]姬洪[3],
来源：2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会 年份：2007
本文采用傅里叶红外光谱仪(FTIR)和MCT红外探测器可以构成原位的FTIR测量系统,可应用于在电感耦合等离子体刻蚀机中进行的硅刻蚀工艺.文中对反应腔室腔壁状态对刻蚀过程的影...
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