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[期刊论文] 作者:朱忠伶, 来源:半导体技术 年份:1985
我所于1978年引进的日本AEC-630型、双管、卧式、高频加热外延炉,现已使用四年多,运行达400余炉次.生产实践证明,该设备性能稳定,可靠性较高,外延膜厚度及电阻率均匀性达到或...
[期刊论文] 作者:R.P.Roberge,朱忠伶,宋成斌,, 来源:半导体情报 年份:1988
测量了正常操作条件与外延反应器中汽相杂质浓度的关系,发现反应器温度和装片时暴露于空气的时间对原位的气体质量有明显的影响。通过实验确定了工艺对汽相杂质的敏感度。把...
[期刊论文] 作者:张旭光,李映雪,王阳元,朱忠伶, 来源:电子学报 年份:1989
本文论述了SOI方法之一——ELO(外延横向覆盖生长)技术的特点和工艺方案。利用射频加热卧式常压外延设备进行了系统的工艺研究,重点探讨了如何提高ELO层的质量和如何减少单晶...
[会议论文] 作者:邵宪平,朱忠伶,吴代智, 来源:全国第二届专用集成电路(ASIC)学术会议 年份:1992
该文介绍了多晶硅、金属Al双层场板结构在单片功率集成汽车电压调整器电路中的应用。重点介绍了无寄生MOS效应的PNP、NPN,达林顿NPN管双层场板结构及为提高功率管终端结耐压而设置的双层场板......
[期刊论文] 作者:许健雄,胡萍,朱忠伶,郑仰华, 来源:仪表技术与传感器 年份:1991
本文论述了LVDT(线性可变差动变压器)在工业测量及控制领域中的广泛应用。SJ5520是LVDT复合集成电路的替代接口电路,文章介绍了该电路的重要电特性、内部功能及二种典型应用...
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